日前
省委、省政府舉行全省科學技術獎勵大會
表彰2021年度省科學技術獎
江蘇鑫華半導體科技股份有限公司
以田新博士為首的創新團隊
憑藉
《集成電路用高純電子級多晶硅大規模產業化技術》
獲得省科學技術三等獎
這也是經開區在戰略性新興產業方面
的又一項重要突破
電子級多晶硅
是國家發展集成電路產業的戰略原材料，長期以來，生產技術一直由國外壟斷，成為中國發展集成電路產業的瓶頸。
江蘇鑫華半導體科技股份有限公司是協鑫集團光伏龍頭企業協鑫科技控股有限公司與國家集成電路產業投資基金股份有限公司共同投資成立的，經營範圍主要是研發、生產及銷售半導體級多晶硅及其他半導體原材料和電化產品。
總投資約38億元，生產規模為5000噸/年，產能位列全球第三。該項目是工信部2016年強基工程中標項目、江蘇省重點項目、徐州市重大項目。
歷經6年多的時間，田新帶領鑫華半導體不斷攻克難關，突破技術重圍，不僅填補國內半導體級原材料製造的空白，成為助推半導體產業鏈國產化的重要力量，還讓鑫華半導體躋身行業前列，成為全球半導體材料產業鏈的重要組成部分。
電子級多晶硅實現量產
作為國內多晶硅材料研發、生產的龍頭企業，協鑫在該領域已有近十年的積累。
站在協鑫GCL法多晶硅超大規模清潔生產技術的基礎上，立足自身核心技術體系，田新帶領團隊對國外現有的先進技術去蕪存菁，歷經3年多的技術整合和研發攻關，自主構造出「精餾提純、氣相沉積、副產物循環利用、產品自動化處理」的閉路循環體系。
在這個過程中，團隊完成了超過600項的核心技術和設備的改進、創新，最終形成了具有完全自主知識產權的電子級多晶硅生產工藝，在技術層面不再受制於人，水平比肩國際領軍企業。
生產工藝實現突破，但大規模生產線依舊是擺在田新與團隊面前的一大難題。沒有設備，鑫華半導體便在引進國外先進技術理念和半導體行業製造標準的基礎上，聯合眾多國內設備廠家共同開發。
- 憑著一股不服輸的勁頭，團隊與設備廠家不僅開發出潔凈設備、潔凈材料，讓整個項目的設備國產化率超過70%，還不斷改良工藝技術，掌握了多項核心技術，實現了國內相關設備的從無到有，創造了多個行業「首次」。
- 在此基礎上，田新帶領鑫華半導體率先在國內建成了首條世界水平的5000噸/年電子級多晶硅生產線。這不僅是電子級多晶硅大規模產業化在國內的首次亮相，更是痕量雜質提純、高等級潔凈控制、全流程在線質量監控等長期困擾我國高純電子級多晶硅量產關鍵難題的跨越和突破。
- 鑫華半導體生產的電子級多晶硅產品的高純特性達到了目前工業提純能實現的最高水平，成為國內高端電子級多晶硅的標杆，並實現6英寸到12英寸硅晶圓的全覆蓋。
集成電路原材料自主可控
電子級多晶硅是集成電路的關鍵基礎材料，是電子信息產業的基石。過去中國市場的集成電路用電子級多晶硅完全依賴進口。正是一種責任感，讓鑫華半導體承擔了多項國家級課題，成功突破海外多年技術封鎖，填補了國內半導體級原材料的空白。
2019年5月，裝載著集成電路用高純度硅料的貨船緩緩駛出港口，駛向韓國。當日，江蘇鑫華半導體科技股份有限公司總經理、協鑫集團中央研究院副院長田新雖如往常一樣忙碌在研發的崗位上，但思緒卻禁不住地翻湧奔騰。
1年多的時間、317次生產試驗、629項技術和設備的優化改進，憑藉著70%的國產設備，鑫華半導體終於系統性解決了集成電路用高純度硅料雜質釋放這一業界難題，生產的集成電路用高純度硅料通過一系列嚴格的驗證、檢測，實現了小批量出口。
從數量上看，這批高純度硅料的出口似乎並不出奇，但對於在集成電路領域長期處於「卡脖子」狀態的國內半導體材料行業而言，鑫華半導體的這次出口有著劃時代的意義——
不僅突破了原料端徹底祛除和雜質控制這一技術，還在全球首創自動化無接觸的硅料處理系統，成為我國首家向國際市場出口集成電路用高純度多晶硅的製造企業，標誌著我國電子級多晶硅突破海外多年技術封鎖，填補了國家集成電路產業的一項空白。
「鑫華半導體的成立是帶著使命的，就是為了解決中國集成電路原材料電子級多晶硅完全依賴進口、受制於人的局面。」
田新說，當時，電子級多晶硅材料的技術完全掌握在德國、日本等國家手中，國內在該領域的研究幾乎是一片空白。等不到，也要不到，田新和研發團隊面對的，是幾近於空白的技術領域。
從零開始，在我國電子級多晶硅理論研究基礎和產業化經驗極度缺乏的基礎上，田新帶領團隊通過自主研發並積極調動和引入智能製造、先進材料等相關領域的成果，主導研究開發了三氯氫硅超痕量雜質提純等技術，解決了長期困擾我國高純多晶硅領域的「卡脖子」技術難題，實現了對國外老牌企業的彎道超車。
作為技術和工藝的總負責人，田新不僅發表多篇專業性論文，擁有11項電子級多晶硅相關發明專利，獲得江蘇省智能製造專家、中國IC發展優秀青年科學家、徐州市傑出科創企業家等榮譽稱號，還組織和帶領團隊多次承擔國家級、省級高精尖縱向課題的研究，實現了多個技術領域的突破。
- 2016年國家工信部「強基工程」
- 2018年江蘇省科技廳「前瞻項目」
- 2019年江蘇省科技廳「核心技術攻關」
- ……
田新和團隊持續性地進行技術突破和創新，夯實了鑫華半導體在電子級多晶硅技術領域的技術基礎。鑫華半導體也因此一步一個腳印，穩紮穩打，取得了對國外先進企業的技術優勢。
- 2020年，鑫華半導體榮獲工信部下屬的賽迪諮詢頒發的「IC獨角獸企業」稱號。
文稿：金龍湖快報
