ASML明年將向客戶交付首台High-NA EUV光刻機

ASML明年將向客戶交付首台High-NA EUV光刻機

ASML首席技術官Martin van den Brink日前受訪時表示，目前公司正有序推行其路線圖，在EUV之後是High-NA EUV技術。ASML正在準備向客戶交付首台High-NA EUV光刻機，大概會在明年某個時間點完成。(Bits & Chips)

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