支持7納米,國產「DUV光刻膠」通過驗證,ASML繼續供貨做對了

2022年11月24日23:21:14 科技 1791

可能很多朋友並不了解,晶元產業發展的這幾十年間,發生了很多格局上的變化,例如最初的晶元設計,是需要EDA工具的,所以最初EDA工具提供商只是一個邊緣化的存在,但是隨著晶元集成度的提升,EDA工具已經成了可謂是最上游的企業,沒有EDA工具,晶元研發就幾乎寸步難行。

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但很快晶元製造的重要性開始凸顯,直到進入到先進工藝,晶元製造也開始進入晶元產業的中心地帶,而到了7納米工藝,晶元製造設備和材料,也開始進入中心,現在的先進封裝技術,則到了這個階段。


上面我們提到的晶元製造設備和材料,就包括光刻機光刻膠,沒有質量上乘的光刻膠,晶元也無法完成製造,而光刻膠的使用還是光刻機使用的前一道程序,光刻膠的質量,也直接決定了光刻機曝光後的晶元質量,所以光刻機雖然研發難度很高,可光刻膠也是同樣如此。


根據媒體報道,我國光刻膠企業南大光電方面對外表示,公司的ARF光刻膠產品已經通過兩家企業的驗證,分別是一家存儲晶元製造企業和一家邏輯晶元製造企業,ARF光刻膠,也就是我們所說的「DUV光刻膠」,即DUV光刻機所需要用到的光刻膠。

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該光刻膠可以直接支持到7納米工藝晶元的製造,而7納米也是DUV光刻機所被應用的極限工藝,所以我們可以看出,在ARF光刻膠上,我們已經實現了全工藝覆蓋的國產化,打通了DUV光刻機所需光刻膠的通路。


從歷史發展上來看,光刻膠提前做好了技術鋪墊,那麼後續所對應的光刻機的出現就不遠了,實際上,我們國產28納米光刻機,之前就已經有了相關可喜的進展,主要是來自國望光學。


國望光學是我們國產光刻機在曝光系統上的供應商,因為我們現在的國產光刻機已經做到了90納米,所以光源的問題已經解決,另一個關鍵點就是曝光系統,而今年第一季度,國望光學方面先後對潔凈室和製造設備方面發出了招標,並表示將會在該生產基地提供28納米及以下工藝的產品。

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這意味著,設備導入階段就會很快到來,我們尚且先不用關心何時會量產,但基本可以確定,我們已經掌握了28納米曝光系統的技術,現在的工作就是為規模量產做準備。以台積電在美建設的5納米工廠為例,其將會12月份進行設備導入,2024年實現量產。


所以這樣對比來看,國望光學走向量產已經指日可待,這也與我們上面提到的,光刻膠之後就是光刻機的歷史發展規律相吻合,因此說ASML繼續供貨做對了,之前老美方面要求ASML在禁止供應EUV光刻機後,也要禁止供應DUV光刻機,遭到了ASML的拒絕。


近日荷蘭方面再次重申了ASML會繼續供貨的決心,ASML方面表示,物理定律在荷蘭和在中國是一樣的,這也就是說,ASML能做到的,中企也能做到,毫無疑問,現在來看,ASML所預測的非常準確,其實不僅是在DUV光刻機,我們在EUV光刻機上也在快速發展。

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例如華為剛剛就公布了一項EUV光刻機專利,實際上我們已經擁有了數量很可觀的EUV專利,在努力的不只有華為,中科院上海光機所已經很早就在招聘EUV光刻機方面非常細分的崗位,這表明我們對EUV光刻機已經非常了解,近日對EUV光源方面也在進行招聘。


而南大光電在突破了「DUV光刻膠」後,下一步自然就是突破「EUV光刻膠」,總的來看,我們國產晶元產業正在快速發展,這是之前幾十年所沒有的一種盛況,再提一句,剛剛,我們晶元設計工具EDA在模擬電路等方面實現了全流程覆蓋,對於國產晶元產業的發展,我們越來越有信心了,如果您覺得說得在理,感謝給個點贊和在看。

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