8月8號,上海芯上微裝(AMIES)交了第500台先進封裝光刻機。
如果大家沒有概念,那就直接看一個數據,目前芯上微裝,已經在光刻機先進封裝細分領域拿下35%的全球份額,90%的中國份額。
芯上微裝成立於2025年02月08日,技術團隊約600人,平均年齡33歲,65%為碩士博士學歷,半年直接就出貨500台先進封裝光刻機。
這事看著像「捷報」,其實更像是一個「階段性驗收」——七年了,終於有人把國產光刻機從實驗室,一點點拉到了量產線。

很多人一聽到「光刻機」,就想到ASML的EUV,想到28nm、14nm這些前道工藝。
但這次芯上微裝的500台,主力是先進封裝用的光刻機。
這其實挺聰明的。
前道光刻機技術門檻高、驗證周期長,國內廠商硬沖,風險太大。
而先進封裝這幾年需求猛增,Chiplet、HBM這些新技術都離不開它。
國產設備先在這裡站穩腳跟,既能賺錢,又能積累經驗,還能和長電、通富這些封測廠磨合工藝,等於先練級再打怪。
技術上,國產光刻機也有了大突破。
上海微電子的28nm光刻機,明年就要量產了。
這可不是小事,28nm光刻機是半導體製造里的重要一環,量產意味著我們有了穩定的供應能力。還有國產EUV光刻機,原型機的核心部件驗證已經完成,這可是高端光刻機的「心臟」,有了它,我們離高端光刻機量產又近了一步。
材料方面也有好消息。
南大光電的ArF光刻膠已經用在了中芯國際14nm的產線上,這可是光刻機的「糧食」。
沒有它,光刻機也跑不起來。
聖泉集團的高純酚醛樹脂也實現了量產,這種材料是光刻機光學系統的關鍵,以前一直被國外壟斷,現在我們自己能造了,這就是底氣。
設備協同也做得不錯。
茂萊光學給上海微電子提供光學透鏡,海立股份的冷卻系統升級,這些看似不起眼的小部件,卻能讓光刻機的性能更穩定、更可靠。
別小看這些細節,它們可都是光刻機能正常運轉的「幕後英雄」。
現在如果你去長三角的封裝廠轉一圈,就會發現,不少新上的產線,確實開始用國產設備了。不是因為便宜,而是因為響應快、服務好、能配合客戶改工藝。
這才是真正的「替代」——不是靠補貼,是靠產品力一點一點搶回來的。
另外,大基金三期三千多億,六成投向光刻機。
這次明顯更聚焦:整機集成、光學系統,都是卡脖子中的卡脖子。
比如茂萊光學做的鏡頭,以前全靠進口,現在能做了,哪怕一開始良率低點,至少有得用了
還有海立股份的冷卻系統,從給設備配零件,到現在能做整套溫控方案,說明配套能力在升級。

但話說回來,別太激動。
500台聽著多,ASML一年賣幾百台EUV,一台就頂我們幾百台。
路還長,但總算走出來了。
再看業績。
現在正是中報業績披露的時候,光刻產業鏈整體是不錯的
- 海立股份漲得猛,凈利翻六倍,表面看是沾了光刻機的光,其實是整個半導體設備國產化在放量。
- 珂瑪科技給光刻機提供陶瓷零部件,營收增速也超過了33%。
- 聖泉集團的PPO樹脂和多孔碳材料賣得火熱,中報預告增長了50%。
- 波長光電的EUV CO₂激光器出貨量也超了去年全年。這些高端產品,可都是市場上的「香餑餑」。
最後,可換個角度看,七年前,我們連「能用」都不敢想,往後看,半導體相關的催化事件也不斷。

現在至少有了選擇,有了備份,這才是500台背後最大的意義——我們終於有牌可打了。

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