和ASML一起造EUV光刻機的蔡司，有多厲害？

眾所周知，全球只有ASML和尼康兩家能夠製造浸潤式光刻機。而一家只有ASML一家能夠製造EUV光刻機。

為何造先進光刻機的廠商這麼少，原因有很多，但非常有一個非常重要的原因，那就是先進光刻機的物鏡系統太難了，全球只有德國蔡司擁有這個技術。

比如浸潤式光刻機的物鏡系統，全球就只有蔡司能夠提供，尼康是因為得到了蔡司的幫助，才能夠生產出浸潤式光刻機，而佳能、上海微電子沒有得到蔡司的元件，所以生產不出來。

至於EUV光刻機中的物鏡系統，全球也只有蔡司一家能夠提供，但蔡司的這個系統，不能賣給除ASML之外的任何一家廠商，所以全球也就只有ASML一家能夠生產出EUV光刻機。

那麼蔡司的物鏡系統，究竟有多牛？蔡司是光學巨頭，小到眼鏡鏡片，大到醫學顯微系統，蔡司都有涉獵，但光刻機這一塊，有一家專門的半導體公司負責，叫做Zeiss SMT。

在EUV光刻機中，有兩套光學系統，一部分用於照明系統，一部分為投影光學系統。

照明系統是幹什麼的？是極紫光線通過分面反射鏡，然後在光罩上提供合適的照明度，別以為就是幾盞燈的事情，這個物件高達1.5噸用，一共由1.5萬多個元件組成。

而投影光學系統更複雜，用到了六個超精密的反射鏡，可以實現nm級別的成像，這套系統重量超過2噸，一共由2萬多個元件組成。

由於為要實現nm的影像，所以對反射鏡的要求非常高，不能有絲毫的誤差。

在EUV光刻機，這套投影光學系統中，用到的鏡面叫做「布拉格反射器」，也被稱之為「地球上最平整」的鏡面。

究竟有多平？這個反射器的直徑只有30厘米左右，但如果把它整體放大到整個雲南省那麼大，最厚的介質層也只有1毫米那麼厚。

ASML與蔡司不僅僅是合作關係，2016年的時候，ASML出資10億歐元，收購了蔡司半導體公司Zeiss SMT24.9%的股份，並承諾後續會持續投資，支持蔡司在半導體方面的研發，雙方是綁定在一起的。

所以這也是為什麼蔡司的物鏡系統，並不對外銷售的原因，要是蔡司的物鏡系統能夠大規模對外銷售，估計全球也就不只ASML一家能夠生產EUV光刻機了。