华林科纳RCA清洗中晶片表面的颗粒粘附和去除

2022年07月13日18:21:02 科学 1904

引言

溶液中颗粒和晶片表面之间发生的基本相互作用是范德华力(分子相互作用)和静电力(双电层的相互作用)。近年来,与符合上述两种作用的溶液中的晶片表面上的颗粒粘附机制相关的研究蓬勃发展,并为阐明颗粒粘附机制做了大量工作。

大多数物质在与溶液接触时,会获得表面电荷,胶体化学中就是这么说的。据认为,这种电荷是由固体表面电离、离子吸附到固体表面和离子溶解引起的。溶液中的带电固体表面影响界面周围区域的离子分布;与带电固体表面符号相反的离子被拉向界面,而符号相同的离子被迫离开界面。这样,在溶液中的带 电界面形成双电层,并随后影响与晶片表面相关的颗粒吸附和去除。

接下来,将简要说明ζ电势。如果一个固体浸入溶液中时,在固-液界面上存在双电层。图10.1显示了一个固体—液体界面的结构模型,它是基于斯特恩的理论,适用于带正电荷的表面。

在这个双电层中,在几乎是固体的部分,有一个吸收相反离子的斯特恩层。此外,扩散层存在于其外部。船尾层外侧存在一个滑移面。这个滑移面的电势称为ζ电势。滑移面位于液体中的某处,而不是正好在固-液相边界。ζ电势用于解释颗粒对晶片表面的粘附和去除。

10.2显示了溶液中颗粒和晶片表面的示意图。例如,由于吸收H”离子,推测两个表面都带正电。在带电表面附近,负离子受静电引力和不规则布朗运动的影响,形成双电层。在这种情况下

华林科纳RCA清洗中晶片表面的颗粒粘附和去除 - 天天要闻

华林科纳RCA清洗中晶片表面的颗粒粘附和去除 - 天天要闻


科学分类资讯推荐

认识2种丁酸衍生物 - 天天要闻

认识2种丁酸衍生物

丁酸钠与三丁酸甘油酯作为丁酸的衍生物,在动物消化道中被分解成丁酸和其他物质。他们的主要生物学功能来源于丁酸。肠道上皮细胞优先选用丁酸作为能量源。作为一种短链脂肪酸,丁酸在进入小肠后部分以非离子形式被肠道黏膜细胞吸走,直接为肠黏膜细胞生长和增
米东区:这一电化学储能电站项目推进中 - 天天要闻

米东区:这一电化学储能电站项目推进中

(米东区融媒体中心记者:黄鹏报道)7月9日,记者在位于米东区北部沙漠东北部的新疆华电乌鲁木齐光伏基地100万千瓦/400万千瓦时独立新型储能示范项目现场看到,工作人员正在对设备进行吊装调试。该项目总投资约30亿元,是全国单体容量最大的电化学
脑图谱大科学计划时机已来!中国科学家十项成果给大脑绘高清地图 - 天天要闻

脑图谱大科学计划时机已来!中国科学家十项成果给大脑绘高清地图

人类大脑是一个非常复杂的组织,要理解大脑的工作原理首先要了解其中的细胞种类和神经联接规律,近日中国科学家联合发布系列成果给大脑绘制“高清地图”。 7月10日深夜,中国科学家联合发布介观脑图谱系列成果,实现从啮齿类到灵长类大脑的跨越。10项成果以专题论文集的形式集中发表在国际学术期刊《细胞》《神经元》《发育...
国际突破!中大培育光子“双胞胎”,辐射强度达单光子水平 - 天天要闻

国际突破!中大培育光子“双胞胎”,辐射强度达单光子水平

7月9日,《自然》杂志(Nature)在线发表中山大学物理学院王雪华、刘进教授团队主导的最新研究成果。该团队提出了一种全新的腔诱导自发双光子辐射方案,在国际上率先实现与单光子辐射强度相当的自发双光子辐射,研发出保真度高达99.4%的按需触发
微型肝脏,是未来希望,还是科技乌托邦 - 天天要闻

微型肝脏,是未来希望,还是科技乌托邦

文︱陆弃随着全球器官移植需求持续攀升,传统器官捐献严重不足的问题愈发凸显。美国初创企业LyGenesis推出了一个令人振奋的创新方案:通过将供体肝细胞注射至患者体内淋巴结中培育“微型肝脏”,尝试在患者自身体内制造可替代肝脏功能的器官。
“软黄金”冬虫夏草,你真的了解吗? - 天天要闻

“软黄金”冬虫夏草,你真的了解吗?

冬虫夏草千年传承的滋补良药采药人的寻觅自公元780年起冬虫夏草便以其独特的药用价值被载入史册从《藏本草》到《中国药典》均有记载李时珍更将其誉为“人身不老药”赞其兼具虫之阳刚与草之阴柔成为中药中独一无二的“阴阳同补”圣品享有“东方圣草”“药中
【链博传奇】中国中车:塑轨道之“链”,与世界同行 - 天天要闻

【链博传奇】中国中车:塑轨道之“链”,与世界同行

中国中车集团有限公司(以下简称“中国中车”)是中国轨道交通装备领域的“链”主企业,是全球规模领先、品种齐全、技术一流的高端装备制造商和系统解决方案提供商,清洁能源装备骨干企业。当前,中国中车搭建了世界领先的轨道交通装备产品技术研发平台,构建了完整的轨道交通装备产业体系,开创了轨道交通装备和清洁能源装...
全国AI精英宜宾对决 长江首城创新大赛点燃人工智能新引擎 - 天天要闻

全国AI精英宜宾对决 长江首城创新大赛点燃人工智能新引擎

中新网四川新闻7月11日电(吴平华 杨锦 )智汇长江首城,共享成长价值,10日,由宜宾市科学技术局、宜宾市数据局、宜宾市高铁南片区开发建设指挥部办公室联合主办,北京中关村信息谷资产管理有限责任公司承办的“长江首城宜创汇”协同创新大赛人工智能