台積電取得 ASML 下世代極紫外光刻機high-NA EUV,三星電子李在鎔與 ASML 就引進下一代極紫外EUV光刻機進行會談,ASML新版本的極紫外光刻機,將成為世界上2奈米最先進的晶片製造機器