近日全國人大代表、徐州博康董事長傅志偉近日在接受《南華早報》採訪時，透露了一個讓整個半導體圈為之一振的消息：公司已經實現了從單體、樹脂、光酸到最終光刻膠產品的全產業鏈自主化，KrF、ArF這些中高端產品已經通過了頭部晶圓廠的驗證，正在逐步放量生產。
這應該是國產光刻膠產業首次官宣，國產ArF即將量產，取得關鍵性突破吧。我們知道全球光刻膠市場，尤其是高端光刻膠長期被日本和美國企業所主導，合計市場佔有率高達95%。尤其是在高端市場里，日本的JSR、信越化學、TOK（東京應化）以及美國的杜邦，簡直就是神一般的存在，在最先進的EUV（極紫外）光刻膠領域，更是處於「壟斷地位」。
目前中國光刻膠的自給率是很低的。根據中國電子材料行業協會的數據，我們在門檻最低的G/I線光刻膠上，國產化率勉強能達到20%-25%；到了KrF級別，國產化率直接跳水到僅剩3%；而到了更高端的ArF級別，國產化率甚至不足1%。
但在國家政策，尤其是國家集成電路產業投資基金三期規模達1600億元，其中約18%的資金投向光刻膠等半導體材料領域。上海等地還出台補貼政策，對晶圓廠採購國產光刻膠給予10%的補貼。
這些都強有力的推動了國產光刻膠的穩步突圍。如上文提到的徐州博康從最源頭的單體（原材料），到樹脂（成膜主體），到光酸（光敏核心），再到最終的光刻膠成品，全部自己搞定 。這不僅意味著成本可控，更意味著供應鏈的安全。
當然，國產光刻膠產業不是徐州博康一個公司在戰鬥。
- 鼎龍股份在武漢和潛江布局，其潛江一期30噸KrF/ArF高端光刻膠產線已具備量產能力，二期年產300噸的產線也即將就位。
- 上海新陽建成了從I線到ArF浸沒式的完整研發平台，已經開始批量銷售 。
- 彤程新材旗下的北京科華，多款KrF光刻膠已經在主流晶圓廠和存儲廠批量供貨。
- 南大光電更實在，直接在財報里告訴大家：2024年我有三款ArF光刻膠，已經實現了千萬人民幣的收入。
另外，根據行業數據，截止去年底國內企業已攻克23項ArF光刻膠關鍵技術，產品良率穩定在92%以上，KrF光刻膠自給率正向50%衝刺。
當然對於國產光刻膠而言，政策的推動只是一方面，更重要的是來自市場需求的刺激，晶圓廠擴產直接拉動了光刻膠的海量需求。業內測算，每生產1萬片12英寸晶圓就需要消耗約5噸光刻膠。2025年國內12英寸晶圓產能預計達每月120萬片，這意味著光刻膠需求量將突破6000噸。這意味著，2026年，國產光刻膠將迎來達爆發。
因此，對於國產晶元產業來說，7nm（5nm、3nm）以下的先進位程的突破確實非一朝一夕能夠完成的；但在成熟製程，如28nm、14nm這條主流賽道上，國產晶元已經佔據全球40%的市場份額。
這為國產半導體產業鏈帶來了巨大的市場機會和成長空間，光刻膠也不例外，在接下來的2-3年不僅在既有的ArF產線實現規模化量產，而且在EUV光刻膠也將迎來事實上的技術突破！
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