全球首個,在雄安投運!事關半導體、航天產業發展

2026年03月24日18:42:03 科學 1602

據中國電子院消息,由該院自主研發的全球首個納米級微振動實驗室在雄安新區正式投運,標誌著我國在精密裝備微振動環境控制領域實現里程碑式突破,為我國電子製程、空天信息等高端製造業的自主發展提供了關鍵支撐。

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如今,半導體晶元產業已成為大國科技競爭的核心戰場,先進位程工藝對生產環境的要求日趨嚴苛。與此同時,衛星互聯網作為新一代信息基礎設施的戰略支撐,高解析度遙感衛星和低軌互聯網衛星批量快速組網是國家安全的重大需求。在這兩大國家級戰略需求的牽引下,提升納米級微振動環境的精確控制與評估能力,可極大促進相關產業發展。

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中國電子院雄安納米級微振動實驗室的核心裝置是一台全球尺寸最大、精度最高的微振動實驗台,堪稱「國之重器」,從尺寸到精度、從承載能力到技術性能全方位刷新全球同類設備紀錄。

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實驗台平面尺寸達到4米×4米,台體自重約50噸,設計承載能力高達20噸,能夠滿足大型半導體設備整機及衛星全尺寸載荷的上台測試需求,這在全球範圍內尚屬首次。

此次雄安納米級微振動實驗室的投運,一舉填補了我國在微振動試驗方法、精密設備振動容許標準、隔振裝置評價體系以及第三方試驗服務等多個環節的技術與市場空白,更為半導體、航天兩大國家級戰略產業開闢了全新的實驗驗證通道,為國產高端裝備研發量產按下「加速鍵」。

來源:科技日報

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