雷聲激光實現全固態深紫外激光器量產,國產DUV光源邁入工業級應用新階段

2025年12月31日18:40:29 科學 3318

【環球網科技綜合報道】在長期被海外廠商壟斷的深紫外(deep ultraviolet, duv)激光器領域,中國企業取得關鍵突破。12月31日消息,杭州雷聲激光技術有限公司宣布,其自主研發的全固態duv激光器已實現規模化穩定量產。核心性能指標經中國計量科學研究院認證達到國際領先水平,標誌著我國在高端光電子核心器件領域邁出關鍵一步。

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深紫外激光,作為光子能量的「尖端利器」,在半導體晶元光刻檢測、精密微納加工、尖端科研、高端醫療及國防安全等領域具有不可替代的戰略價值。然而,其核心技術長期被少數國際巨頭所壟斷,成為制約我國相關產業自主發展的關鍵瓶頸之一。

自創立起,雷聲激光便致力於「打造中國人自己的高端激光」,將全固態深紫外激光器作為主攻方向。面對材料、工藝、封裝、控制等環節的極高要求,公司組建了一支由頂尖光學工程師、物理學家和工藝專家組成的攻堅團隊,從固態晶體的高質量生長與精密加工,到諧振腔的亞微米級穩定設計;從泵浦源的特製與優化,到散熱管理和長期老化測試中的千萬次數據積累,以「毫米之功,微米之究」的態度, 不斷打磨和優化產品。

2025年7月7日,中國計量科學研究院對雷聲激光提交的產品進行了嚴格測試,並出具了權威檢測認證報告。報告顯示,該系列激光器在光束質量、功率穩定性、長期可靠性及能量轉換效率等關鍵指標上均達到國際頂尖水平。

檢測報告顯示,產品在核心指標上表現卓越:光束質量(m²因子)接近衍射極限,處於國際最優行列;輸出功率長期穩定性優於±0.5%,保障了工業應用的極致精度;平均無故障運行時間(mtbf)大幅領先行業標準,輸出功率達到瓦級以上(1.17w),展現了超凡的可靠性;整機電光轉換效率實現行業突破,從行業主流的氣體激光器的3%突破到46%以上,更為節能環保。

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2025年11月,杭州市科技局組織行業頂尖專家為雷聲激光召開了專項技術論證與未來發展研討會。與會專家一致認為,雷聲激光已成功突破了全固態深紫外激光器的量產瓶頸,其技術路線與產品性能具有顯著的獨創性和領先性,是杭州市乃至國家在高端激光領域掌握核心競爭力的典範。

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面對資本市場熱潮,公司明確表態:暫無上市計劃,未來三年將集中資源深耕「更精密、更穩定、更通用」三大方向,持續提升波長穩定性、功率雜訊等關鍵參數,並拓展在光刻檢測、量子計算、生物光子學等前沿場景的應用能力。

目前,雷聲激光duv模塊已批量交付多家國內半導體設備廠商、精密檢測儀器公司和前沿科研機構。(張陽)

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