晶元製造是非常複雜的,整個晶元製造過程中,需要幾百種設備,幾百道工序。
其中比較核心的有光刻、刻蝕、薄膜沉積,這三個步驟,都對應著不同的設備,比如光刻機、刻蝕機,薄膜沉積設備等。
光刻在最前面,用光在硅晶圓上形成電路圖案模版,刻蝕環節則根據這一模版對下層材料進行選擇性去除,以構建出複雜的電路結構。

而薄膜沉積則是在矽片上逐層生長材料,從而搭建晶元的電路架構,這三個關鍵環節完成了,基本上晶元製造也就成型了。
目前在光刻機上,我們的國產設置確實落後不少,如果和ASML相比,落後個10年是有的,甚至更多。
但在刻蝕、薄膜沉積上,卻都達到了頂尖水平,特別是國內有一家半導體設備公司,在這兩塊上,都具備全球競爭力,在刻蝕機上,甚至達到了3nm的水平。

這家企業就是中微公司,由尹志堯博士於2004年創辦,至今不過20來年時間。
剛開始的時候,公司主要聚焦於等離子體刻蝕設備的研發,並於2007年就推出了中國首台電容性等離子體刻蝕設備,打破國外壟斷。
以前,美國對刻蝕機這樣的設備也是有限制的,不準先進的賣給中國的,但中微突破了後,限制就取消了,因為再禁毫無意義,反而會讓美企失去市場。
後來,中微不斷的努力,推出了眾多的刻蝕機,真正達到全球頂尖水平,並且也打入了台積電供應鏈,其精度也達到了3nm。

不僅如此,中微公司還表示,其元件全部實現了100%的國產,完全的自主可控,不用擔心卡脖子,全是國產供應鏈。
而除了刻蝕機之外,中微在薄膜沉積設備、MOCVD設備上,也達到了全球頂尖水平,特別是氮化鎵基LED MOCVD設備,全球領先。
可見,中國企業一樣能夠製造出先進的晶元設備,也希望有越來越多的企業,能夠像中微一樣,如果大家的水平都全球頂尖,都達到3nm,我們可以全部自己搞定,那還怕什麼禁令,還有什麼禁令啊。