按照荷蘭的半導體禁令規則,從9月1日起,除了EUV光刻外,連高端的DUV光刻機,都要對中國限售了,除非ASML拿到許可證。
什麼叫叫做高端DUV光刻機?普通的乾式的ArF Dry光刻機,當然不算高端。浸潤式光刻機,也就是ArFi才算是高端DUV光刻機。
而ArFi光刻機,目前ASML共有4種型號,從低到高,分別是NXT:1980Di、2000i、2050i、2100i。其中第一種也並不算高端型號,後面三種才算。
所以按照荷蘭的規則,只有NXT:1980Di這一種才可以賣給中國,另外的三種是不能賣的。
不過,ASML馬上就又發布了公告,稱2023年內,除了EUV之外,所有的DUV光刻機,都可以賣給中國,哪怕最新的NXT:2100i這種最新型號。
為什麼會這樣呢?ASML表示,他之前拿到了許可證,而這個許可證在2023年內是有效的。
事實上,為何ASML著急表態呢?原因在於ASML實在不想失去中國這個大客戶,所以想趁著最後這幾個月,趕緊多賣一點高端的DUV光刻機,否則到了明年,誰來買它的DUV光刻機呢?
像三星、台積電、intel等廠商,也需要ASML的光刻機,但這些廠商,要的主要是EUV光刻機,DUV光刻機,需求沒那麼大。
DUV光刻機中,ArF Dry這種乾式光刻機,用於130nm-65nm,而ArFi這種浸潤式光刻機,主要用於65-7nm工藝,而中國大陸的晶圓廠,生產的主要就是這些工藝的晶元。
目前中國從ASML採購的光刻機中,以DUV為主,因為EUV也買不到,至於更落後一點的KrF、i線、G線等,中國自己能產,需求沒那麼大。
而據數據顯示,2023年二季度,僅這一個季度中國從ASML進口的ArFi(浸潤式)光刻機數量就達到了39台,全年預計超過100台。
所以一旦這些先進的DUV光刻機,無法賣到中國來,ASML損失非常大,所以也就有了ASML做好準備,先拿了許可證,可以在2023年內,繼續賣任何DUV光刻機給中國了。
至於2024年,那就且過且看了,看看ASML會想什麼辦法了,如果無法可想,其營收肯定會大受影響,畢竟中國可是給ASML貢獻了約20%的收入,更何況中國大規模發展晶元產業,對DUV光刻機需求非常大,所以ASML肯定是非常著急的。