提到光刻機,大家的印象中我們的差距還很大。但光刻機其實有前道和後道之分,晶元製造用的是前道光刻機,晶元封裝用的是後道光刻機,我們的差距主要在前道。
後道光刻機上我們的上海微電子已是全球領先水平,但前道光刻機主要被ASML、尼康和佳能三家壟斷,尤其是ASML還壟斷了高端EUV光刻機,如今又開始逆勢而行!
實力到底有多強
光刻機按光源來分類,主要分EUV、DUV、UV三類,相對應的基本上就是高端、中端、低端。EUV可用於7-3nm製程,DUV可用於7-180nm,UV是用於180 nm以上了。
DUV光刻機又分為ArFi、ArF、KrF三類,UV光刻機包括i-Line、h-Line、g-Line等。
從2021年底全球半導體前道光刻機銷售情況就能夠看出,ASML在全球光刻機領域的實力有多強。我們的上海微電子因為前道才到90nm,並不全球銷售,暫時不統計。
從統計數據來看,ASML可謂是一騎絕塵,不愧是光刻機霸主。去年光刻機全球共出貨478台,ASML一家就出貨309台,佔比達到了65%,而尼康為6%,佳能29%。
更厲害的是,ASML佔據了高端EUV的100%市場,中端DUV也是大部分市場,其中ArFi佔比為96%,ArF佔比88%。尼康和佳能出貨中端也不多,主要集中在低端。
由此可以看出,ASML基本上壟斷了中高端光刻機市場,所以近年來才會備受關注。
目標竟然這麼高
近兩年多的全球缺芯問題,讓各大晶圓廠產能即使滿載,也無法滿足需求,於是紛紛開始投資擴產。加上美晶元禁令的影響,各地紛紛開始建廠以提升本土晶元製造。
據相關機構的數據顯示,2022-2025年間,全球將興建41座晶圓廠。這麼多的晶圓廠必然會帶來更大的設備需求,尤其是光刻機,晶元製造過程中必不可少、最為重要。
於是,ASML作為全球光刻機市場最大供應商,表示會逐年提高產能,以滿足需求。
ASML在今年第一季度財報會上披露了光刻機擴產計劃,表示將於2025年實現年出貨90個EUV和600個DUV。然而,今年以來晶元形勢開始下行,從缺芯向過剩轉變。
受這個形勢影響,近段時間十大半導體製造商紛紛下調今年或明年的資本支出,共計達到186億美元。連ASML的最大客戶台積電也不例外,還表示將關閉4台EUV。
於是,近日的第三季度財報會上,ASML表示這個光刻機擴產計劃暫時還不能確定。
背後早已有盤算
沒想到沒過多長時間,ASML在近日召開的投資者日會上,再次宣布了產能提升計劃,預計2025-2026年實現年產能90個EUV和600個DUV,比之前加了個2026年。
這意思基本就是可以延期一年實現這個目標,看來ASML還是受到形勢下行的影響。
這次會上,還明確了NA EUV的產能計劃,預計2027-2028年實現年出貨20個。目標定的確實不小, 2021年全球各種光刻機總量才478台,幾年時間ASML能實現嗎?
ASML之所以會制定這樣的目標,首先是為了贏得投資者的青睞,獲得更大的投資。其次是看好未來的增長趨勢,ASML認為目前下行趨勢是暫時的,長期需求依然看好。
更為重要的是,ASML非常看好大陸市場的增長,未來幾年依然會強勁增長。據SEMI統計,大陸建高晶圓廠的速度全球第一,預計2024年前將建設31座成熟晶圓廠。
這將會帶來相當大的DUV光刻機需求,這恐怕才是ASML擴產DUV的重要原因之一。
前段時間,尼康宣布在2026年前光刻機出貨量提升3倍以上,佳能投資500億日元新建光刻機廠。未來這兩家都想擴大大陸的市場份額,ASML又怎麼會無動於衷呢。
正是因為ASML早就在大陸進行了布局,所以才會逆勢而行,並且底氣十足!不過,這也被外媒認為,ASML是下定決心不顧阻撓堅持出貨DUV了,因此說挑戰開始!