一提到光刻机,想必大家就会联想到大名鼎鼎的ASML。其不仅能够量产DUV光刻机,而且还是全球唯一一家可以量产EUV光刻机的厂商。尤其是EUV光刻机,是其常年在光刻机领域一家独大的法宝。
也正是因为如此,无论是台积电,还是三星和英特尔等芯片巨头,他们都希望能够获得EUV光刻机的优先使用权和购买权。而台积电之所以能成为全球最大的芯片代工厂商,主要原因也是拥有了80台EUV光刻机。毫不夸张地说,ASML生产的高精度光刻机甚至可以改变半导体行业的走向。
不可否认,荷兰ASML的光刻机制造技术非常强大,但他们却不能独自完成光刻机的制造流程,其所需的零部件超过90%都是从外部采购。
就拿EUV光刻机来说,一台EUV光刻机设备的零部件多达10万个,需要全球5000多家供应商提供。比如,光刻机阀件来自法国,轴承来自瑞典供应商,光源技术来自美国,镜片来自德国等等。
作为全球最顶级的光刻机镜片制造商,德国蔡司理所当然成为了ASML的镜片主要供应商,没有之一。原因无他,因为光学系统是整个光刻机最核心的零部件,镜片的平整度直接影响了光刻机的精度。而符合EUV光刻机要求的镜片制造商,只有德国蔡司。
可以说,一旦蔡司的顶级镜片停产,那么ASML的EUV光刻机都要陷入瘫痪之中,其重要性不言而喻。
近些年来,国产光刻机之所以迟迟无法实现技术突破,最主要的原因之一就是研发不出可以媲美德国蔡司的光学镜头。尽管中科院已经推出了高能同步辐射光源,但相比于蔡司镜头还存在很大的差距。
让人没想到的是,就在10月18日,德国蔡司在苏州工业园区举办了工程奠基仪式,并预计在2024年一季度投产。这是不是就意味着,国产光刻机最核心的镜片已经取得了重大突破。事实真的是这样吗?
但实际上,这次德国蔡司赴我国建设工厂的主要目的,并不是为了生产光刻机的镜片,而是为了推进高端显微镜在中国的本土化生产。说白了,就是生产显微镜的镜头。
据蔡司方面介绍,他们还计划在苏州工厂生产和研发工业X光设备,主要应用于新能源汽车电池,客户包括宁德时代等国产汽车零部件厂家。
不管怎么说,德国蔡司来我国建厂也算是一条好消息,至少我们国内相关企业可以去学习人家的经验和技术。正所谓“有朋自远方来,不亦乐乎”,我们欢迎像德国蔡司这样的科技巨头来中国建厂,多多益善。
至于未来德国蔡司会不会将光刻机镜头技术带进国产光刻机中,就不得而知了。但无论结果怎么样,我们都应该记住倪光南院士说过的话:关键核心技术是买不来的,国产半导体行业的崛起没有捷径可走,只有做到“手中有粮”,才能不再受制于人。对此,你们怎么看?欢迎大家留言点赞分享。
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