ITO靶材卡脖子,河南人、广西人竞相出手!

2025年06月25日12:32:06 科学 1620

科技日报35项卡脖子技术里有一项ITO靶材,ITO薄膜是OLED发光结构的阳极,它的特点有两个:一是透明,二是导电。

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那ITO是啥呢?它的成分是氧化铟锡,可通过磁控溅射、脉冲激光沉积、化学气相沉积等方式,镀到基板上。显示面板制造领域,磁控溅射是比较常用的方式。它是用高能粒子束,轰击ITO靶材,让上面的氧化铟锡原子溅射出来,在基板上沉积成膜。那2018年的时候,ITO靶材是怎么卡我们脖子的呢?科技日报说了,是大尺寸。全国20余家靶材制造商,能做超过32英寸靶材的,我们是零。

做大了有什么用呢?靶材与基板是相应的,如果基板大靶材小,那溅射的时候,就只能多块靶材拼接起来。而拼的时候肯定有缝隙,会导致镀膜质量下降。所以要做高端大屏,就必须有大尺寸靶材。32英寸有多大呢?我随手搜了下,大约700mm乘400mm,对角线大概810mm。那我们就以此为目标,看看国产ITO靶材的发展情况。

2021年11月4日,大河报发了篇文章,说河南院士成功研制中国靶,实现我国显示技术用,ITO靶材自主供给。该成果还获得了2020年,国家技术发明二等奖。那这个靶材有多大呢?很遗憾没有明确数据,不过大河网在报道这个新闻时,给了张图。在这张图上,后面那块黑的就是ITO靶材。图片上的蓝色标牌,长度一般20厘米,这张图横着大概能放8个标牌,也就是这个ITO靶材长度,至少160厘米。注意,这张图并没有拍出靶材全貌,两边剩多少还不知道,所以1米6是最低尺寸。科技日报说的32英寸靶材,长边约700毫米,也就是0.7米。那么河南院士搞的这个靶材,至少超出了一倍。

更惊喜的是,按大河网消息,高端靶材国产化之前,进口价格大约8000元每公斤。国产化后,每公斤跌到1300元,降幅80%。手机现在这么便宜,ITO靶材也有不小贡献。

搞出这个靶材的河南院士,叫何季麟,也是个狠人,曾当过东方钽业董事长。根据新华网资料,1994年何季麟去日本考察市场,推销国产钽粉。结果谈判桌前,两次将样品摆上桌面,两次被对方推了回来。这位河南人,确切说是在宁夏工作的开封人,回来后发愤图强。到2000年情况逆转,日企采购主管都得跑到宁夏,求着他供货了。到2008年,中国钽丝世界第一,钽粉世界第二。

2018年,大号ITO靶材又成了卡脖子项目,然后这位河南人,就带着郑州大学开搞了。最后毫无悬念,搞出了长边至少1米6的靶材,还顺便拿了2020年国家技术发明二等奖。本来故事到这里,就可以给ITO靶材,定突破时间了。但查资料过程中,发现广西人也有贡献,并且新闻发布的时间,比河南这个还早,那就不得不再深入研究一下。

2021年7月30日,广西科技厅发布2020年,广西科学技术奖获奖名单。一等奖里有一项,TFT显示面板用高性能ITO靶材,制备关键技术及国产化。牵头人是桂林电子科技大学徐华蕊。广西这个是2021年7月30日,河南那个是2021年11月4日,那是不是广西这个更早呢?不能草率下结论。

在广西科技厅科技奖励新闻列表里,2021年有两条连着的新闻,8月2日报道了广西科学技术奖,11月4日报道了国家科学技术奖。所以这两个奖,是前后脚颁的。先不管广西奖和国家奖谁先谁后,单从含金量上,河南院士这个国家奖,分量明显更高。那研发上,究竟谁更早一点呢?

郑州大学报道何季麟国家二等奖时,提供了一个额外线索,说该成果还拿了2019年,中国有色金属工业科学技术一等奖。那2019年度中国有色金属工业科学技术一等奖,是什么时候颁布的?我查到一份2019年,中国有色金属工业科学技术奖项目名单,何季麟ITO靶材排在37位。至于这个奖的颁布时间,搜索引擎找不到网页了,出来的就是这个PDF名单。我查遍中国有色金属工业协会官网,也没找到这个网页。不过搜索引擎摘要,显示是2019年11月28日,可以大致作为参考。

但一番努力后,我发现了另一个东西,那就是2019年这个科学奖的推荐通知,截至日期是2019年9月30日。所以何季麟这个成果,肯定是2019年9月30日之前,就做出来并推上去了,不然不可能拿奖。若以这个时间来算,还是河南人动手快一点。那我们就把ITO靶材的突破时间,定在2019年9月30日吧。

那郑州大学和桂林电子科技大学突破的ITO靶材,工业化产品是哪个公司做的呢?各自的获奖资料显示,河南院士合作的是福建阿石创,广西校长合作的是广西晶联光电。阿石创是上市公司,晶联光电2016年被隆华节能收购。隆华节能也是上市公司,2018年改名隆华科技。所以晶联光电,现在是在隆华科技旗下。

那隆华科技和阿石创,各自的靶材现在怎么样呢?对这块总结最细致的,是安徽芜湖的一家友商,叫映日科技。映日科技在筹备IPO,第二轮问询函回复里,有这么一张表。不过在说这张表之前,咱先复习一下科技日报提出的目标,32英寸靶材,长宽约700mm乘400mm,对角线810mm。隆化科技旋转靶最大尺寸700毫米,算不上大。但平面靶干到了1400mm,够可以了吧。忘了啥是旋转靶平面靶的,可以再看一下这张图。

阿石创ITO靶材单节尺寸没有公布,不过前面咱看图估算过,平面靶长边至少1600mm。并且阿石创这个靶材密度,处于领先地位,无人能匹。然后映日科技的靶材,旋转靶最大可以做到1000mm,平面靶可以做到1300mm,也超过了科技日报的32英寸指标。那表里剩下几家公司,都是什么来头呢?

在科技日报卡脖子文章里,提到几个列强,有日本三井、东曹、日立、住友、VMC,还有韩国的三星康宁。不过这张名单有点儿老,2022年广西科技大学一篇论文里,列强已经变成了日本三井、日本日矿,和三星康宁。这几大巨头到了映日科技这张表里,三井还叫三井,日本日矿其实就是JX金属。三星康宁已经被先导薄膜收购,放在了先导名下。所以外资巨头,基本也只剩三井和JX了。这俩公司产品没有尺寸信息,单看密度的话,也并不算先进。并且这张表里的中国企业,也只是中国ITO靶材行业九牛之一毛。西南证券研报里有张图,大家可以数数,ITO靶材公司一共有多少家。所以ITO靶材,怎么也不能算卡脖子了吧。

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