多年以来进口微差压表终于有了新的替代方案

2025年06月19日21:12:13 科学 1250

多年以来进口微差压表终于有了新的替代方案 - 天天要闻

半导体制造工艺中,环境与设备的精密管控直接关系到芯片良率与性能。山本,长野计器(NAGANO KEIKI)的微差压表凭借百年计测技术积淀,为半导体行业提供高纯度气体监测、洁净室压差管控等关键环节的精细解决方案,成为全球前沿晶圆厂和封测企业的优先设备。

应用场景:

1.高纯度气体系统监测

采用不锈钢波登管与氩弧焊接工艺,确保微差压表在腐蚀性气体(如蚀刻用氟化氢氨气)和高纯度惰性气体(如氩气氮气)环境中长期稳定工作,避免泄漏,沉积、刻蚀等工艺的气体流量精度。

2.洁净室与隔离室压差管控

通过实时监测洁净室与外界环境的微压差(±50Pa以内),防止颗粒污染物侵入,满足ISO 1-5级洁净度要求,适用于光刻区、封装无尘车间等敏感区域。

3.关键设备状态预警

集成于薄膜沉积设备、光刻机辅助系统中,监测气体过滤器堵塞或管道压力波动,提前预警设备异常,减少非计划停机损失。

技术优势:

1. 严苛环境适应性:全不锈钢结构(含外壳与连接部件)通过RoHS认证,耐腐蚀性远超行业标准。

2. 精度与可靠性:严格的气密性检测与耐压测试(符合SEMI标准),确保在恒压或波动压力下误差率低于±1% FS。

3. 定制化服务:支持甘油填充、卫生型变送器集成等选项,适配半导体特殊工艺需求。

行业验证:

长野计器微差压表已服务于中芯国ji、京东方等头部企业,并获日本本土及国内多地晶圆厂批量采购。其GV系列、GW系列产品在3D NAND存储芯片制造与前沿封装产线中表现好,助力客户实现工艺良率提升与综合成本优化。

选择山本,长野微差压表,即是选择百年品牌对精密与可靠的不懈追求——为半导体制造的每一帕斯卡压力,提供值得信赖的。

多年以来进口微差压表终于有了新的替代方案 - 天天要闻

另外,为了响应客户的降本增效需求,要求我们对应国内替代方案,我们花了两年时间,经过多次厂家研发成功了。现在可以为客户做国内替代品。质量一样,价格美丽!

科学分类资讯推荐

最新研究:宝马司机在美国大城市中拥有最高的酒驾率 - 天天要闻

最新研究:宝马司机在美国大城市中拥有最高的酒驾率

【智车派新闻】据智车派了解,LendingTree的最新研究分析了美国50个大城市的酒后驾驶(DUI)数据,揭示出令人瞩目的趋势:宝马车主和Z世代(Gen Z)司机的DUI率位居榜首。这项研究深入探讨了汽车品牌、年龄组和城市间的差异,为交通安全提供了关键见解。宝马汽车据悉,这项研究基于每1000名司机的DUI事件率进行统计。在汽车...
日本研究显示糖尿病患者中暑风险更高 - 天天要闻

日本研究显示糖尿病患者中暑风险更高

新华社东京7月10日电 北半球近日持续的高温天气或许对糖尿病患者更加危险。日本一项大规模调查显示,糖尿病患者中暑的风险是非糖尿病人群的约1.4倍。名古屋工业大学近日发布新闻公报说,该校研究团队利用日本全国规模的保险数据库,分析了糖尿病与中暑
“美企绕过禁令,偷拿中国关键矿物” - 天天要闻

“美企绕过禁令,偷拿中国关键矿物”

【文/观察者网 柳白】面对中国依国际惯例执行的关键矿物管制,一些美西方买家叫苦不迭,甚至动起歪脑筋。路透社7月9日报道披露,为绕过中方管制,有美国买家通过第三国转运拿到了矿物。比如根据海关和航运记录,自中国去年禁止向美国出口锑以来,仍有大量锑从泰国和墨西哥涌入美国。中国在锑、镓和锗等关键矿物的供应方面处...
成都又添一个全国总部! - 天天要闻

成都又添一个全国总部!

海创药业的总部基地项目在成都天府国际生物城正式投入使用GE医疗中国精准医疗产业化基地一期项目通过竣工并联验收青羊区金融科技产业园项目将正式进入主体结构施工阶段……近日一批项目又传来新进展海创药业近日,成都高新区企业海创药业的总部基地项目在成
嫦娥六号月球样品首次揭开月背演化历史 - 天天要闻

嫦娥六号月球样品首次揭开月背演化历史

7月9日,中国科学院召开新闻发布会,发布了嫦娥六号月球样品研究的最新进展,并系统梳理了自接收嫦娥六号月球样品一年来取得的系列成果,分别揭示了月背岩浆活动、月球古磁场、月幔水含量及月幔演化特征,首次为人类揭开了月球背面的演化历史。