極目新聞通訊員李婧 曾笑天
6月12日，在由湖北省人才事業發展中心主辦的創立方·2025年第四期博士後和留學回國人才創業路演活動上，武漢大學團簇離子束團隊帶來的「用於euv光學元件原子級製造的團簇離子拋光技術研發及產業化」項目成為全場焦點。該項目憑藉在半導體關鍵設備領域的突破性創新，吸引了點亮投資等10餘家投資機構的重點關注。
活動現場整體圖
「我們的技術可以將光學元件表面粗糙度控制在0.12納米，相當於一個原子的直徑。」付德君教授在路演中介紹道。這項源自武漢大學離子加速器實驗室的技術，已成功研製出三種團簇離子拋光機，包括國內首台套脈衝型原理樣機，完全滿足euv光刻機鏡頭等高端產品的原子級表面精度需求。
武漢大學團簇離子束團隊付德君教授路演圖
據了解，該項目團隊自2015年獲國家國際科技合作專項支持以來，與俄羅斯多所頂尖科研機構展開深度合作，在團簇離子源及離子拋光機研發領域取得系列突破。其核心技術不僅填補了國內空白，更突破了西方國家在極紫外光刻領域的設備封鎖，為我國半導體產業鏈自主可控提供了關鍵支撐。
「目前我們正尋求新一輪融資，主要用於技術研發和產學研合作。」付德君教授表示，這些資金將用於持續技術攻關、科研設備購置和人才隊伍建設。團隊同時希望對接光刻機整機廠商、金剛石光學窗口片生產企業等產業鏈上下遊資源，加速技術產業化進程。
現場點評
武漢點亮股權投資管理有限公司總經理王會敏在點評時指出：「該項目直指我國半導體設備製造的痛點，技術壁壘高、市場剛需強，具有顯著的進口替代價值。特別是其與俄羅斯科研機構的國際合作基礎，為後續技術迭代提供了持續保障。」
活動現場，多家投資機構對該項目表現出濃厚興趣，並與團隊進行了深入對接。據悉，該項目技術已通過多項工藝驗證，具備產業化條件，有望在短期內實現國產高端光學加工設備的突破。
（通訊員供圖）
（來源：極目新聞）
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