集成電路產業是濟南重點布局的產業之一。3月13日，在市政府新聞辦召開的“項目賦能強省會”濟南市企業家系列記者見面會上，濟南市艾恩半導體科技有限公司董事長鍾新華表示，艾恩半導體離子注入機設備在數據獲取方面，比同行業產品高出幾十倍，單台設備每小時獲取的數據量大約在1g左右，處於行業領先水平。
新技術推廣應用，要選對賽道、與時間賽跑
作為一家致力於實現半導體製造離子注入環節國產替代的企業，2024年，艾恩半導體將總部從廣州遷到濟南。“當初之所以選擇落地濟南，正是看中了這裡正在崛起的集成電路產業生態。”鍾新華說。
鍾新華的職業生涯主要圍繞集成電路重大裝備和光伏裝備的研發與產業化展開，承擔過國家重大專項、總裝型譜項目、國家“863”項目、重大科技創新項目、載人航天項目。這些經歷讓他深刻體會到，核心技術是買不來的，必須靠自己一點點啃下來。
這些年，他一直在推動離子注入機的產業化進程。從艾恩半導體成立到做出第一件產品，僅用了8個月。
對於新技術的推廣應用，鍾新華認為，首先是選對賽道。企業沒有一上來就去和國際巨頭在硅基主流市場硬碰硬，而是選擇以碳化硅離子注入機作為突破口。同時還要速度優先。“對我們這樣的初創公司來說，機遇只有一次，如果抓不住當前機遇，就將面臨生死。對於大企業，一件事情可以幹上10年、20年，看不到成果但還可以繼續。給我們的時間哪怕一年、兩年都有點難。因此，我們就得快，與時間賽跑。”
該企業產品數智化優勢明顯。離子注入機是一個極為複雜的系統，涉及近2萬個零部件。為了提高設備的自動化與智能化水平，首先要能夠獲取設備的實時狀態數據。鍾新華介紹，目前該企業設備在數據獲取方面，比同行業產品高出幾十倍，單台設備每小時獲取的數據量大約在1g左右，無論是數據採集的點位數量還是採樣頻次，都處於行業領先水平。
“獲取大量數據後，關鍵是要能夠很好地利用這些數據。我們將其用於設備的實時檢測與控制、故障診斷與處理、自動調束功能，以及後續的優化與迭代。這極大地提升了設備的自動化與智能化水平。”鍾新華說。
力爭三年內實現離子注入機所有機型全覆蓋
當前，第三代半導體迎來黃金髮展期。根據行業數據，2024年中國離子注入機市場規模已達121.26億元，國產化率卻不足10%。
面對這片藍海，艾恩半導體正構建自身發展優勢，努力實現產品矩陣全覆蓋。 目前，其第一代碳化硅離子注入機已在客戶端驗證，今年1月推出了硅基中束流離子注入機，預計9月份推出大束流機型。該企業力爭三年內實現離子注入機所有機型全覆蓋，從碳化硅向硅基延伸，從6寸到8寸再到12寸全面覆蓋。
技術指標是硬道理。在設備性能方面，艾恩半導體努力對標國際領先。 其已經在長壽命離子源技術上達到國內先進水平，正在研發的第二代碳化硅離子注入機將實現對標國際巨頭的性能突破。就設備價格而言，艾恩半導體能做到進口同類裝備的50%左右，為客戶大幅降低資本開支。
國外巨頭雖然產品成熟，但服務響應慢、定製化程度低。艾恩半導體正以服務構建“護城河”，發揮本土企業的優勢，與客戶深度綁定，針對特殊工藝做定製化開發，構建“貼身服務+快速響應”的能力。
“我們將用全系列產品卡位市場，用硬核指標證明實力，用極致服務黏住客戶。”鍾新華說。
談及未來發展，鍾新華表示，在濟南打造集成電路產業高地的進程中，希望扮演好產業鏈的“補鏈者”、上下游的“連接器”、產業集群的“磁石”。對於未來，企業有一個願景：讓世界看到，高端離子注入機不僅能夠“中國造”，更能夠“山東造”。“我們將紮根濟南，與上下游夥伴一道，把山東的第三代半導體產業鏈做強做大，為我國半導體設備自主可控貢獻一份力量。”
記者:黃敏 編輯:劉雨 校對:湯琪
