ITO靶材卡脖子,河南人、廣西人競相出手!

2025年06月25日12:32:06 科學 1620

科技日報35項卡脖子技術里有一項ITO靶材,ITO薄膜是OLED發光結構的陽極,它的特點有兩個:一是透明,二是導電。

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那ITO是啥呢?它的成分是氧化銦錫,可通過磁控濺射、脈衝激光沉積、化學氣相沉積等方式,鍍到基板上。顯示面板製造領域,磁控濺射是比較常用的方式。它是用高能粒子束,轟擊ITO靶材,讓上面的氧化銦錫原子濺射出來,在基板上沉積成膜。那2018年的時候,ITO靶材是怎麼卡我們脖子的呢?科技日報說了,是大尺寸。全國20餘家靶材製造商,能做超過32英寸靶材的,我們是零。

做大了有什麼用呢?靶材與基板是相應的,如果基板大靶材小,那濺射的時候,就只能多塊靶材拼接起來。而拼的時候肯定有縫隙,會導致鍍膜質量下降。所以要做高端大屏,就必須有大尺寸靶材。32英寸有多大呢?我隨手搜了下,大約700mm乘400mm,對角線大概810mm。那我們就以此為目標,看看國產ITO靶材的發展情況。

2021年11月4日,大河報發了篇文章,說河南院士成功研製中國靶,實現我國顯示技術用,ITO靶材自主供給。該成果還獲得了2020年,國家技術發明二等獎。那這個靶材有多大呢?很遺憾沒有明確數據,不過大河網在報道這個新聞時,給了張圖。在這張圖上,後面那塊黑的就是ITO靶材。圖片上的藍色標牌,長度一般20厘米,這張圖橫着大概能放8個標牌,也就是這個ITO靶材長度,至少160厘米。注意,這張圖並沒有拍出靶材全貌,兩邊剩多少還不知道,所以1米6是最低尺寸。科技日報說的32英寸靶材,長邊約700毫米,也就是0.7米。那麼河南院士搞的這個靶材,至少超出了一倍。

更驚喜的是,按大河網消息,高端靶材國產化之前,進口價格大約8000元每公斤。國產化後,每公斤跌到1300元,降幅80%。手機現在這麼便宜,ITO靶材也有不小貢獻。

搞出這個靶材的河南院士,叫何季麟,也是個狠人,曾當過東方鉭業董事長。根據新華網資料,1994年何季麟去日本考察市場,推銷國產鉭粉。結果談判桌前,兩次將樣品擺上桌面,兩次被對方推了回來。這位河南人,確切說是在寧夏工作的開封人,回來後發憤圖強。到2000年情況逆轉,日企採購主管都得跑到寧夏,求着他供貨了。到2008年,中國鉭絲世界第一,鉭粉世界第二。

2018年,大號ITO靶材又成了卡脖子項目,然後這位河南人,就帶着鄭州大學開搞了。最後毫無懸念,搞出了長邊至少1米6的靶材,還順便拿了2020年國家技術發明二等獎。本來故事到這裡,就可以給ITO靶材,定突破時間了。但查資料過程中,發現廣西人也有貢獻,並且新聞發布的時間,比河南這個還早,那就不得不再深入研究一下。

2021年7月30日,廣西科技廳發布2020年,廣西科學技術獎獲獎名單。一等獎里有一項,TFT顯示面板用高性能ITO靶材,製備關鍵技術及國產化。牽頭人是桂林電子科技大學徐華蕊。廣西這個是2021年7月30日,河南那個是2021年11月4日,那是不是廣西這個更早呢?不能草率下結論。

在廣西科技廳科技獎勵新聞列表裡,2021年有兩條連着的新聞,8月2日報道了廣西科學技術獎,11月4日報道了國家科學技術獎。所以這兩個獎,是前後腳頒的。先不管廣西獎和國家獎誰先誰後,單從含金量上,河南院士這個國家獎,分量明顯更高。那研發上,究竟誰更早一點呢?

鄭州大學報道何季麟國家二等獎時,提供了一個額外線索,說該成果還拿了2019年,中國有色金屬工業科學技術一等獎。那2019年度中國有色金屬工業科學技術一等獎,是什麼時候頒布的?我查到一份2019年,中國有色金屬工業科學技術獎項目名單,何季麟ITO靶材排在37位。至於這個獎的頒布時間,搜索引擎找不到網頁了,出來的就是這個PDF名單。我查遍中國有色金屬工業協會官網,也沒找到這個網頁。不過搜索引擎摘要,顯示是2019年11月28日,可以大致作為參考。

但一番努力後,我發現了另一個東西,那就是2019年這個科學獎的推薦通知,截至日期是2019年9月30日。所以何季麟這個成果,肯定是2019年9月30日之前,就做出來並推上去了,不然不可能拿獎。若以這個時間來算,還是河南人動手快一點。那我們就把ITO靶材的突破時間,定在2019年9月30日吧。

那鄭州大學和桂林電子科技大學突破的ITO靶材,工業化產品是哪個公司做的呢?各自的獲獎資料顯示,河南院士合作的是福建阿石創,廣西校長合作的是廣西晶聯光電。阿石創是上市公司,晶聯光電2016年被隆華節能收購。隆華節能也是上市公司,2018年改名隆華科技。所以晶聯光電,現在是在隆華科技旗下。

那隆華科技和阿石創,各自的靶材現在怎麼樣呢?對這塊總結最細緻的,是安徽蕪湖的一家友商,叫映日科技。映日科技在籌備IPO,第二輪問詢函回復里,有這麼一張表。不過在說這張表之前,咱先複習一下科技日報提出的目標,32英寸靶材,長寬約700mm乘400mm,對角線810mm。隆化科技旋轉靶最大尺寸700毫米,算不上大。但平面靶干到了1400mm,夠可以了吧。忘了啥是旋轉靶平面靶的,可以再看一下這張圖。

阿石創ITO靶材單節尺寸沒有公布,不過前面咱看圖估算過,平面靶長邊至少1600mm。並且阿石創這個靶材密度,處於領先地位,無人能匹。然後映日科技的靶材,旋轉靶最大可以做到1000mm,平面靶可以做到1300mm,也超過了科技日報的32英寸指標。那表裡剩下幾家公司,都是什麼來頭呢?

在科技日報卡脖子文章里,提到幾個列強,有日本三井、東曹、日立、住友、VMC,還有韓國的三星康寧。不過這張名單有點兒老,2022年廣西科技大學一篇論文里,列強已經變成了日本三井、日本日礦,和三星康寧。這幾大巨頭到了映日科技這張表裡,三井還叫三井,日本日礦其實就是JX金屬。三星康寧已經被先導薄膜收購,放在了先導名下。所以外資巨頭,基本也只剩三井和JX了。這倆公司產品沒有尺寸信息,單看密度的話,也並不算先進。並且這張表裡的中國企業,也只是中國ITO靶材行業九牛之一毛。西南證券研報里有張圖,大家可以數數,ITO靶材公司一共有多少家。所以ITO靶材,怎麼也不能算卡脖子了吧。

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