1台30亿的ASML最新High-NA EUV光刻机全球仅卖5台！
这家曾垄断全球高端光刻机的巨头，正遭遇史上最严峻的市场滑铁卢。
中国中科院团队的EUV光源效率突破3.42%，绕开专利封锁直逼商用门槛。
半导体产业百年迎来未有之大变局，接下来到底谁能说了算？
ASML的困境与行业变局
2025年第一季度财报显示，受 2025 年 Q1 订单不及预期影响，ASML 股价单日市值缩水约 1319 亿人民币（183 亿美元），一年内市值蒸发逾 9365 亿人民币（1300 亿美元）。
这一数据背后是其寄予厚望的High-NA EUV光刻机遭遇的市场滑铁卢，全球仅交付5台，单价4亿美元的设备沦为“展品”。
这台重达180吨、需七架波音747货机运输的“超级机器”，原计划成为3nm以下制程的“刚需”。但台积电、三星等核心客户的态度转变，彻底打乱了ASML的节奏。
台积电联席副首席运营官张凯文在欧洲技术研讨会上直言：“A14（1.4nm）工艺无需High-NA设备，现有EUV光刻机通过技术革新即可实现性能突破。”
绕开设备依赖的路径创新
台积电的底气源于其第二代纳米片环栅晶体管（Nanosheet GAA）技术。
通过重构晶体管架构，A14工艺在相同功率下性能提升15%，或在相同频率下功耗降低25%-30%。这种“硬件架构创新替代设备依赖”的策略，使台积电避免了400亿美元的设备替换成本。
更关键的是台积电的技术突破具有可持续性！
研发团队通过优化标准单元设计，将现有EUV光刻机的寿命延长至2030年后，“渐进式升级”模式与ASML“一代设备绑定一代工艺”的商业模式，形成直接冲突。
从实验室到产业化的跨越
在ASML陷入困局的同时中国科研团队正悄然改写规则。
中科院上海光机所林楠团队研发的固体激光器驱动LPP-EUV光源，能量转换效率达3.42%，超越欧美同类技术。
产业化进程同样加速，中芯国际、北方华创等企业已与上海光机所建立联合实验室，启动光源-物镜-工件台全链条研发。
据测算国产EUV光源若实现量产，可使7nm制程良率提升18%，单位成本下降22%。这种“技术突围+产业链协同”的模式，正在重塑全球半导体设备竞争格局。
技术迭代与地缘博弈
ASML的困境折射出半导体行业的深层变革。
一方面，摩尔定律放缓促使晶圆厂转向“工艺优化优先”策略，High-NA设备的投资回报率被重新评估；另一方面，地缘政治加速了技术自主化进程，中国在EUV光源、光学元件等领域的突破，正打破ASML的垄断。
英特尔利用 ASML High-NA EUV 光刻机在单季生产 3 万片晶圆，其 18A 制程早期数据显示设备可靠性提升至前代两倍，但良品率目前仅 20%-30%，量产计划面临挑战。
后者则坚持“工艺创新+设备延寿”，在A14节点实现性能超越。这种差异化竞争，预示着半导体制造将进入“多元技术路线并存”的新阶段。
技术瓶颈与产业化鸿沟
尽管国产EUV光源取得突破但产业化之路仍充满挑战。
ASML的EUV光刻机涉及超10万个零部件，其锡滴喷射系统需实现每秒5万颗20微米液滴的精准控制，双脉冲激光同步精度达纳秒级。
上海光机所虽已建立实验平台，但整机集成、稳定性验证等环节仍需3-5年。
与此同时ASML并未坐以待毙。其计划2025年出货5台High-NA设备，并启动超数值孔径EUV研发，试图通过技术代差重新确立优势。
但市场对其4亿美元单价的质疑声浪，以及中国技术突破的持续施压，使其面临前所未有的战略压力。
时代的转折点
从台积电的技术突围到国产EUV光源的突破，半导体行业正经历一场静悄悄的革命。
ASML的困境并非偶然，而是技术迭代、市场博弈与地缘政治共同作用的结果。
当国产光刻机从实验室走向产线，当工艺创新替代设备依赖成为主流，一个由技术自主驱动的新时代正在来临。
正如外媒所言：“ASML的统治或许尚未终结，但半导体行业的游戏规则，已经永远改变了。”
信源：
《ASML 2025 年第一季度财报》ASML Holding N.V.（荷兰阿斯麦公司）
《SEMI 2025 年第一季度半导体制造监测（SMM）报告》国际半导体产业协会（SEMI）
《台积电欧洲技术研讨会纪要》台积电（TSMC）
《台积电重申 1.4nm 工艺无需 High-NA EUV》太平洋科技（PConline）
《固体脉冲激光驱动等离子体 EUV 光源技术突破》中国科学院上海光学精密机械研究所
《国产 EUV 光源技术突破的产业影响》钛媒体 APP
《ASML 2025 年 Q1 股价与财务数据》新浪财经
《中国制造 2025 半导体专项规划》中华人民共和国工业和信息化部
文编辑: 珞翎
