光刻机是制造半导体芯片的核心设备，通过光刻机技术将电路图案以纳米级精度印刷到硅片上，主要由光学、机械和控制系统构成，分为紫外、深紫外和极紫外等类型，应用于集成电路、LED制造等领域。
光刻机这两天迎来了大爆发，多只相关概念股强势涨停。今天复盘发现有3只国产光刻机被中央汇金和北向资金重仓持有。
一、张江高科。从公司一度的前十大流通股东可以看出，中央汇金持股4012.06万股，占流通股比例2.59%，位列公司第二大股东。香港中央结算（北向资金）一季度减仓280.38万股，目前仍持股2987.51万股，占流通股比例1.93%，位列公司第三大股东。
公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22345万元人民币，持有上海微电子公司10.78%的股权。是A股唯一参与光刻机巨头的上市公司，2025年一季度净利润同比大增147.3%，显示其在光刻机产业链的布局已经逐步兑现业绩。
二、东方明珠。从公司一季度前十大流通股东可以看出，香港中央结算（北向资金）一季度减仓374.43万股，仍持股4330.97万股，占流通股比例1.29%，位列公司第二大股东。中央汇金持股3374.88万股，占流通股比例1.00%，位列公司第三大股东。
公司通过间接持股上海微电子装备股份有限公司参与光刻机整机领域。其间接持股路径为：东方明珠持有上海市信息投资股份有限公司21.33%股权，后者持有上海垣信卫星科技有限公司20.5808%股份。
三、海立股份。从公司一季度十六流通股东可以看出，香港中央结算（北向资金）一季度减仓182.15万股，仍持有625.67万股，占流通股比例0.58%，位列公司第六大股东。
根据公司官网，海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件极供养合作提升为系统级供应合作。
