在半导体制造工艺中,环境与设备的精密管控直接关系到芯片良率与性能。山本,长野计器(NAGANO KEIKI)的微差压表凭借百年计测技术积淀,为半导体行业提供高纯度气体监测、洁净室压差管控等关键环节的精细解决方案,成为全球前沿晶圆厂和封测企业的优先设备。
应用场景:
1.高纯度气体系统监测
采用不锈钢波登管与氩弧焊接工艺,确保微差压表在腐蚀性气体(如蚀刻用氟化氢、氨气)和高纯度惰性气体(如氩气、氮气)环境中长期稳定工作,避免泄漏,沉积、刻蚀等工艺的气体流量精度。
2.洁净室与隔离室压差管控
通过实时监测洁净室与外界环境的微压差(±50Pa以内),防止颗粒污染物侵入,满足ISO 1-5级洁净度要求,适用于光刻区、封装无尘车间等敏感区域。
3.关键设备状态预警
集成于薄膜沉积设备、光刻机辅助系统中,监测气体过滤器堵塞或管道压力波动,提前预警设备异常,减少非计划停机损失。
技术优势:
1. 严苛环境适应性:全不锈钢结构(含外壳与连接部件)通过RoHS认证,耐腐蚀性远超行业标准。
2. 精度与可靠性:严格的气密性检测与耐压测试(符合SEMI标准),确保在恒压或波动压力下误差率低于±1% FS。
3. 定制化服务:支持甘油填充、卫生型变送器集成等选项,适配半导体特殊工艺需求。
行业验证:
长野计器微差压表已服务于中芯国ji、京东方等头部企业,并获日本本土及国内多地晶圆厂批量采购。其GV系列、GW系列产品在3D NAND存储芯片制造与前沿封装产线中表现好,助力客户实现工艺良率提升与综合成本优化。
选择山本,长野微差压表,即是选择百年品牌对精密与可靠的不懈追求——为半导体制造的每一帕斯卡压力,提供值得信赖的。
另外,为了响应客户的降本增效需求,要求我们对应国内替代方案,我们花了两年时间,经过多次厂家研发成功了。现在可以为客户做国内替代品。质量一样,价格美丽!
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