
作者:黃鶯
光刻膠,是集成電路半導體製造的核心材料,全球90%的光刻膠幾乎都由日本企業生產,與光刻機一樣,是一個妥妥的卡脖子領域。
不過目前光刻材料的國產化速度已經加快。在這一過程中,國產化替代勢必會引發日本光刻膠企業的回應。
2024年12月23日,國家知識產權局公告顯示,日本富士膠片株式會社(簡稱「富士膠片」)的一件名為「圖案形成方法、感光化射線性或感放射線性樹脂組合物以及抗蝕劑膜」的專利zl201180025664.8,經合議組審理後,認為該專利權利要求1不具備創造性而無效,權利要求2-17繼續維持有效,因此宣告該專利權部分無效。無效請求人是一個自然人「陳榮玉」,很顯然,這是使用了「稻草人」策略隱藏了與富士膠片可能發生糾紛的實體名稱。

根據說明書記載,該發明涉及一種形成負型圖案的方法,其適於使用採用波長為300納米以下的遠紫外光作為光源的arf曝光裝置、arf液體浸漬投影曝光裝置或euv曝光裝置來曝光,且涉及一種適用於所述方法的組合物。
也就是說該專利主要涉及富士膠片與euv光刻膠有關的技術。
那麼,到底是中國哪家從事光刻膠研發或生產的實體可能與富士膠片發生了專利糾紛?
就在國家知識產權局做出這份無效決定的三天後,2024年12月26日,來自中國廈門的一家光刻膠企業——廈門恆坤新材料科技股份有限公司(簡稱「恆坤新材」)的科創板ipo被正式受理。從披露的招股書中,可以更詳細地看到中國光刻膠產業的發展現狀。
恆坤新材的招股書顯示,中國境內光刻材料早期發展較為緩慢,致使光刻材料原材料的開發缺乏動力和目標,間接導致現階段中國境內光刻材料原材料仍然大部分依賴進口。
雖然近年來隨著中國自主的集成電路產業的快速發展,部分關鍵材料已逐步實現國產化應用,但目前行業國產化率仍然處於較低水平。
尤其是在中高端領域,根據弗若斯特沙利文市場研究,在12英寸集成電路領域,i-line光刻膠、soc國產化率10%左右,barc、krf光刻膠國產化率1-2%左右,arf光刻膠國產化率不足1%,euv 光刻膠完全由國外廠商壟斷。
目前,在12英寸集成電路晶圓製造領域,全球範圍內生產半導體光刻膠的企業主要有日本合成橡膠、信越化學、東京應化、富士膠片、美國杜邦等。
境內企業除恆坤新材已實現i-line光刻膠與krf光刻膠量產供貨外,包括南大光電、北京科華、上海新陽、瑞紅蘇州等也有半導體光刻膠產品在驗證或量產供貨過程中。
因此,很有可能此次與富士膠片陷入專利糾紛的中國實體就來自以上從事光刻膠研發和生產的實體。當然,已經實現量產的實體可能性會更大一些。
如果進一步結合國家知識產權局公開的涉案專利的雙方無效代理機構來看,代表專利權人富士膠片的代理機構是北京同立鈞成知識產權代理有限公司,代表無效請求人(自然人)的代理機構是廈門市精誠新創知識產權代理有限公司。
從這個代理機構的信息入手,再去檢索該代理機構代理專利申請的客戶信息,就會發現恆坤新材的一些專利申請案件就是由這家代理公司所代理。
然而目前尚無公開信息表明恆坤新材與富士膠片之間有專利糾紛,且恆坤新材在招股書中也沒有披露有涉及專利糾紛的信息,因此還無法直接確定與富士膠片發生糾紛的就是恆坤新材。
不過,在恆坤新材招股書中,披露了兩處與專利有關的財務信息。
一是在應付賬款中,有應付專利技術款,2021-2022年每年大約600餘萬。

二是在其他非流動資產部分,專利轉讓款均為光刻材料樹脂配方及生產技術預付款。

恆坤新材的招股書披露,截至報告期末,擁有專利80項,其中發明專利30項。在公司的組織架構中,都配備有專門的知識產權管理部。
