EUV光刻机3年内落地,光刻机4大部份:光源、聚光、物镜和双工件台都齐了,对标ASML,何时落地?唯来制造?

2023年06月21日02:42:17 科技 39857
EUV光刻机3年内落地,光刻机4大部份:光源、聚光、物镜和双工件台都齐了,对标ASML,何时落地?唯来制造? - 天天要闻 EUV光刻机3年内落地,光刻机4大部份:光源、聚光、物镜和双工件台都齐了,对标ASML,何时落地?唯来制造? - 天天要闻
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