自主保全的第五步是自主檢查。第一至第四步主要是將設備的劣化進行復原，但之後仍需維持改善，進一步提高設備的信賴性、保養性、設備質量，並檢查所製作的清掃基準、給油基準、檢查基準以及整理點檢的效率化和點檢的疏忽，以達到自主保全基準。
1．清掃基準、點檢基準的檢查
對於清掃基準、點檢基準，操作人員需用以下四個觀點加以檢查。
（1）以零故障、零不良的觀點進行檢查
調查以往對故障、不良品以及點檢失誤所做的防止再發生內容，並檢查在自主保全基準中有無遺漏的應點檢項目。
（2）以點檢效率化的觀點進行檢查
在實施清掃基準、給油基準、總點檢基準時有無重複工作？考慮是否可以在清掃、給油時做點檢，是否可以將作業與點檢項目做組合，檢查能否減少點檢項目。
（3）以點檢作業負荷是否平衡的觀點進行檢查
常有點檢工作集中於每周一開工時的情形，因此，須檢查點檢周期、點檢時間、點檢路線等作業負荷是否平衡。
（4）以目視管理的觀點進行檢查
① 能否立即知道點檢項目的部位？
② 點檢是否容易進行？
③ 是否能立即查出異常？
目視管理的具體做法如表所示。
目視管理的具體做法
2．自主檢查的推行要點
自主檢查的目的之一，就是為了提高自主保全檢查基準，以在目標時間內切實實施維持活動。
（1）要符合各設備的保全、運轉基準
保全維修部門在自主保全的第四步結束前，必須完成各項基準（檢查、安裝、拆卸整備的基準），尤其是檢查基準的制定。第五步要對保全和運轉基準進行匯總、修正，明確各自的職責，兩者合在一起則是十分完整的檢查項目。
（2）運轉和保全人員商定檢查周期
日常檢查要深入到由劣化直接影響安全和質量的最低限度的項目里。而且，每天的檢查要作為是為了防止安全、質量問題而採取的最低限度的檢查事項，要作為工作的一部分，而且以身體能感受到的範圍最為理想。
綜合檢查科目與日常、定期檢查項目之間的關係，如圖所示。
綜合檢查科目與日常、定期檢查項目之間的關係
（3）決定檢查所需要的時間
檢查所需時間取決於檢查項目、檢查周期、檢查設備和車間的具體情況，還取決於操作人員的工作內容、所管台數以及是停機檢查還是邊運轉邊檢查的方式。
在確定本基準時，應在實際的檢查工作中對照檢查表，然後決定切實可行的時間表。在實際操作中剛開始可能比較費時，但自主保全設備一段時間後檢查時間就會縮短。
（4）掌握設備的綜合知識
在第四步，組織各部門分頭學習設備的綜合知識。操作人員應對自己設備的各部分及該設備固有部分的功能、結構的組合以及工作原理有充分的認識，並且正確地進行清掃、加油、檢查、操作，這些實際操作是十分重要的。
（5）明確設備和質量的關係
要使設備保持良好的狀態，實現車間內無故障，就必須明確形成產品質量的4M條件，即人（Man）、設備和工具（Machine）、材料（Material）、方法（Method），要明確這些精度和質量特性的關係並列入檢查基準書，這一點很重要。
（6）故障、次品的分析
編寫完上述基準書，還需編寫自主保全檢查表，因為即使進行日常檢查也常會發生故障和次品。此時，就要考慮故障的原因在何處，自己的工作有無應改進之處，並應把反省的內容寫入基準書內。
自主保全基準的示例，如表所示。
自主保全（檢查、清掃、給油）基準
自主保全檢表
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