光刻機是製造半導體芯片的核心設備，通過光刻機技術將電路圖案以納米級精度印刷到硅片上，主要由光學、機械和控制系統構成，分為紫外、深紫外和極紫外等類型，應用於集成電路、LED製造等領域。
光刻機這兩天迎來了大爆發，多隻相關概念股強勢漲停。今天復盤發現有3隻國產光刻機被中央匯金和北向資金重倉持有。
一、張江高科。從公司一度的前十大流通股東可以看出，中央匯金持股4012.06萬股，占流通股比例2.59%，位列公司第二大股東。香港中央結算（北向資金）一季度減倉280.38萬股，目前仍持股2987.51萬股，占流通股比例1.93%，位列公司第三大股東。
公司通過子公司上海張江浩成創業投資有限公司投資了上海微電子公司22345萬元人民幣，持有上海微電子公司10.78%的股權。是A股唯一參與光刻機巨頭的上市公司，2025年一季度凈利潤同比大增147.3%，顯示其在光刻機產業鏈的布局已經逐步兌現業績。
二、東方明珠。從公司一季度前十大流通股東可以看出，香港中央結算（北向資金）一季度減倉374.43萬股，仍持股4330.97萬股，占流通股比例1.29%，位列公司第二大股東。中央匯金持股3374.88萬股，占流通股比例1.00%，位列公司第三大股東。
公司通過間接持股上海微電子裝備股份有限公司參與光刻機整機領域。其間接持股路徑為：東方明珠持有上海市信息投資股份有限公司21.33%股權，後者持有上海垣信衛星科技有限公司20.5808%股份。
三、海立股份。從公司一季度十六流通股東可以看出，香港中央結算（北向資金）一季度減倉182.15萬股，仍持有625.67萬股，占流通股比例0.58%，位列公司第六大股東。
根據公司官網，海立集團與微電子裝備集團雙方領導就項目合作、產品配套等內容進行深入探討。雙方以封裝光刻機得冷卻系統配套為起點，進一步提升合作能級，逐步從零部件極供養合作提升為系統級供應合作。
