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台积电拿走了ASML的一半的EUV光刻机，量产了全球超过63%的EUV晶圆晶片，ASML将会在2023年交付High NA EUV光刻机，台积电与ASML表示，先进制程与成熟工艺的晶片都紧缺光刻机
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