在台积电、三星、英特尔的助力下，ASML成功的研发出了EUV光刻机，将晶片制程推进到了7nm、5nm、甚至3nm，当时台积电、三星、英特尔虽互为竞争对手，但它们却做了同一件事，那就是投资ASML。