支持7纳米,国产“DUV光刻胶”通过验证,ASML继续供货做对了

2022年11月24日23:21:14 科技 1791

可能很多朋友并不了解,芯片产业发展的这几十年间,发生了很多格局上的变化,例如最初的芯片设计,是需要EDA工具的,所以最初EDA工具提供商只是一个边缘化的存在,但是随着芯片集成度的提升,EDA工具已经成了可谓是最上游的企业,没有EDA工具,芯片研发就几乎寸步难行。

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但很快芯片制造的重要性开始凸显,直到进入到先进工艺,芯片制造也开始进入芯片产业的中心地带,而到了7纳米工艺,芯片制造设备和材料,也开始进入中心,现在的先进封装技术,则到了这个阶段。


上面我们提到的芯片制造设备和材料,就包括光刻机光刻胶,没有质量上乘的光刻胶,芯片也无法完成制造,而光刻胶的使用还是光刻机使用的前一道程序,光刻胶的质量,也直接决定了光刻机曝光后的芯片质量,所以光刻机虽然研发难度很高,可光刻胶也是同样如此。


根据媒体报道,我国光刻胶企业南大光电方面对外表示,公司的ARF光刻胶产品已经通过两家企业的验证,分别是一家存储芯片制造企业和一家逻辑芯片制造企业,ARF光刻胶,也就是我们所说的“DUV光刻胶”,即DUV光刻机所需要用到的光刻胶。

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该光刻胶可以直接支持到7纳米工艺芯片的制造,而7纳米也是DUV光刻机所被应用的极限工艺,所以我们可以看出,在ARF光刻胶上,我们已经实现了全工艺覆盖的国产化,打通了DUV光刻机所需光刻胶的通路。


从历史发展上来看,光刻胶提前做好了技术铺垫,那么后续所对应的光刻机的出现就不远了,实际上,我们国产28纳米光刻机,之前就已经有了相关可喜的进展,主要是来自国望光学。


国望光学是我们国产光刻机在曝光系统上的供应商,因为我们现在的国产光刻机已经做到了90纳米,所以光源的问题已经解决,另一个关键点就是曝光系统,而今年第一季度,国望光学方面先后对洁净室和制造设备方面发出了招标,并表示将会在该生产基地提供28纳米及以下工艺的产品。

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这意味着,设备导入阶段就会很快到来,我们尚且先不用关心何时会量产,但基本可以确定,我们已经掌握了28纳米曝光系统的技术,现在的工作就是为规模量产做准备。以台积电在美建设的5纳米工厂为例,其将会12月份进行设备导入,2024年实现量产。


所以这样对比来看,国望光学走向量产已经指日可待,这也与我们上面提到的,光刻胶之后就是光刻机的历史发展规律相吻合,因此说ASML继续供货做对了,之前老美方面要求ASML在禁止供应EUV光刻机后,也要禁止供应DUV光刻机,遭到了ASML的拒绝。


近日荷兰方面再次重申了ASML会继续供货的决心,ASML方面表示,物理定律在荷兰和在中国是一样的,这也就是说,ASML能做到的,中企也能做到,毫无疑问,现在来看,ASML所预测的非常准确,其实不仅是在DUV光刻机,我们在EUV光刻机上也在快速发展。

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例如华为刚刚就公布了一项EUV光刻机专利,实际上我们已经拥有了数量很可观的EUV专利,在努力的不只有华为,中科院上海光机所已经很早就在招聘EUV光刻机方面非常细分的岗位,这表明我们对EUV光刻机已经非常了解,近日对EUV光源方面也在进行招聘。


而南大光电在突破了“DUV光刻胶”后,下一步自然就是突破“EUV光刻胶”,总的来看,我们国产芯片产业正在快速发展,这是之前几十年所没有的一种盛况,再提一句,刚刚,我们芯片设计工具EDA在模拟电路等方面实现了全流程覆盖,对于国产芯片产业的发展,我们越来越有信心了,如果您觉得说得在理,感谢给个点赞和在看。

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