台积电供应商家登指控英特格侵权案 法院判决不成立

集微网报道（文/李映）对台积电供应商、晶圆传送方案商家登于2021年11月控诉英特格的前开式晶圆传送盒FOUP及极紫外光光罩盒（EUV Pod）侵犯专利、索赔新台币1亿元一案，近日我国台湾法院判决家登败诉，指控英特格侵权案不成立。

英特格强调，技术创新是英特格长期为客户带来价值的核心，此裁决结果再次肯定了英特格长期保护第三方知识产权的承诺。英特格与家登的授权协议仅限于EUV技术，家登没有任何权利使用英特格的FOUP相关技术。

英特格进一步表示，公司已在台湾半导体产业深耕超过30年，目前在台湾约有720名员工，并预计在未来数年再增加数百名员工。

据悉，前开式晶圆传送盒FOUP是半导体制程中被用来保护、运送并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆。而EUV光罩光刻图案精细度较高，发生掩模污染的风险也比较高，因此需要高度专业化的EUV Pod进行防护。EUV Pod作为一类具有多个关键元件且高度专业化的设备，其技术含量较高，当前大陆行业尚处初步发展阶段，国产替代空间巨大。