DUV光刻机自由,也要被美国剥夺?国产光刻机必须顶上了

众所周知,目前主流的光刻机主要有两种。

一种是EUV光刻机,也称之为极紫外线光刻机,用于7nm及以下的芯片光刻。另外一种是DUV光刻机,称之为深紫外线光刻机,主要用于10-130nm光刻机,只有ASML能生产。

DUV光刻机又有两大路线,一是ASML为代表的浸润式光刻机,以水为介质,采用193nm波长的光线,在水中折射后,变成132nm。

还有一种是干式光刻机,以空气为介质,采用157nm波长的光线,主要是日本的尼康佳能为代表。

国内上海微电子也有DUV光刻机,采用的是浸润式,不过技术相对落后,虽然也称之为DUV,却还处于90nm的精度。

相对于EUV光刻机,DUV确实算成熟的技术了,所以一直以来,DUV光刻机是自由的,ASML也好,尼康也好、佳能也好,是无需获得美国出口许可证便可以向中国客户出货DUV光刻系统的。

所以一直以来,国内也大量采购ASML的DUV光刻机,用于芯片光刻,国产光刻机虽然也使用,但使用得比较少,理由嘛不用多说了。

但是一直以来,美国都想剥夺我们的DUV自由,在2020年、2021年,美国的一些议员,都提出了一些提案,表示美国政府需要与日本和荷兰合作,禁止DUV类设备出口到中国。

不过反对的更多,ASML、尼康、佳能们也一直不干,表示DUV这么成熟的技术,封禁也没意义,中国自己就生产出来了,何必影响他们赚钱呢?所以虽然有风声,但一直没有执行。

而昨天,又传出消息,有媒体报道称,美国正在推动荷兰政府禁止ASML向中国大陆出售一些关键技术,包括DUV光刻机。同时还表示,美国政府还计划施压给日本,欲让日本尼康、佳能等也不向中国大陆出口DUV光刻机。

有些网友一看这个就表示了震惊,称这是全面下死手了?事实上,正如我前面所言,这几年,每年都要这么折腾一回甚至几回,不过到目前为止,都没有真正实施。

一方面是DUV真的算成熟技术,就是国外不卖,国内也能够搞出来,反而让国外的厂商失去了市场。

另外一方面,目前中国已经是全球最大的半导体设备市场了,光刻机没有,那么整个生产线也建不了,其它的设备也不好卖了,那么对美国、日本这两个垄断设备、材料 、EDA的厂商而言,失去的更多。

所以理论上来讲,DUV自由是很难被剥夺的,但即使是这样,国产光刻机也必须顶上来了,不说EUV,DUV的精度得提升了,免得对方老是给你施压,然后获得自己的利益吧。