造价超4亿美元!阿斯麦最先进EUV光刻机首次曝光!

2025年06月02日13:13:07 科学 1222

近日,美媒公开了阿斯麦公司的最新一代极紫外光刻机,造价超4亿美元。

众所周知,光刻机是半导体产业链中最精密的设备,也是制造芯片的核心装备。

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光刻过程简单来说,是把设计好的芯片图案印在掩膜上,再用激光穿过掩膜和物镜,最后把芯片的图案精准地投射到晶圆表面。

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形象点说,可以把光刻机,比作是高级的“投影仪”。

只不过,它使用的不是一般的光,而是特定的光源。

按光源波长的不同,光刻机主要分为深紫外DUV和极紫外EUV。

DUV光刻机采用波长为193纳米的紫外光,而更先进的EUV光刻机,则将波长缩短至13.5纳米。

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波长越短,雕刻出来的电路越精细,芯片的制程也就越短。

在DUV领域,市场被荷兰阿斯麦、日本尼康佳能三巨头共同瓜分;

而在EUV领域,阿斯麦完全独领风骚。

有了EUV光刻机,芯片厂商们可以研制出5nm、3nm芯片,在先进芯片制程可以领先一步。

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如果说,EUV光刻机是人类半导体工业皇冠上的明珠,那么阿斯麦就相当于握着最亮明珠的那个厂商。

而其最新发布的高数值孔径High-NA EUV光刻机,更是将这一地位推向了新的巅峰。

跟传统EUV光刻机相比,High-NA有两项革命性的重大突破

首先,增大了数值孔径NA,从之前标准EUV光刻机的0.33提升到了0.55。

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简单来说,这个值越大,就能实现更小的分辨率和更高的分辨能力,制造出来的芯片也会更精细,性能也更强大。

其次,High-NA避免了传统工艺中繁琐的多次图形化步骤,显著减少了多次曝光次数。

不仅能让生产出的芯片运行速度更快,还能提高生产效率和良率。

举个例子,之前可能每小时才能生产150片晶圆,但现在可以提高到300片。

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据悉,High-NA光刻机造价超4亿美元,迄今为止,总共只交付了5台。

目前支持2nm量产,到2029年可以支持1nm的量产。

更令人惊叹的是,如果采用多重曝光,理论上甚至能够实现0.5nm(即5埃米)制程的芯片制造,逼近原子级别的极限。

据了解,由于体积非常的庞大,想要运输这台光刻机,需要大约7架波音747和25到30辆卡车。

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而安装和调试过程同样复杂,需要极高的精度和技术,任何微小的误差都可能导致光刻质量的下降。

保守估计,需要一年左右的时间。

值得一提,光刻机上的绝大部分零部件,并不是阿斯麦自己的。

而是来自于全球超过5000家供应商企业,而且都是业内顶尖的技术水平。

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比如德国的蔡司镜头,日本的特殊复合材料瑞典的工业精密机床,美国的先进控制软件、光源等等。

而阿斯麦正是凭借“集全球最顶尖技术”这一法宝 ,在光刻机领域,可以说是全球实力最雄厚的。

然而,在阿斯麦的股权中,有超过50%的股份都被美国资本所掌控。

换句话说,阿斯麦也被美国卡脖子。

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这就导致世界上任何想生产先进芯片的国家,不仅要过阿斯麦这一关,更要过“美国允许不允许”的那一关。

正因如此,有人调侃:“阿斯麦握着明珠,但明珠链子的另一头,却绑在美国腰上”。

如果大家以为High NA EUV光刻机,应该就是阿斯麦的压轴菜,那还是低估了它的水平。

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据悉,更厉害的Hyper-NA EUV光刻机,正在加紧研发。

据说,其数值孔径(NA),从0.55进一步提高到0.75。

更高的数值孔径,意味着更精细的制程能力,这将进一步推动芯片性能的飞跃。

从DUV到EUV,从标准EUV到High-NA,再到未来的Hyper-NA,阿斯麦正在不断的挑战人类制造的极限。

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