突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者

2025年05月08日18:33:07 科学 1520

近日,山东劳动职业技术学院传来喜讯,该校匀速先锋创新团队马益轩、张欣铭等人成功研制出560SY型全自动匀胶设备。

据了解,该设备在谢立秋、任勇、孙大铭等专业教师的指导下,历经5年多的时间,查阅大量文献资料,深入研究匀胶机的工作原理和技术瓶颈,经过反复测试和优化,独创“双手双腔四仓四加热”联动解决方案,提高了生产效率,实现了对涂覆过程的精确控制,突破了光刻领域“卡脖子”技术瓶颈,为相关科研领域带来新的发展动力,成为国产匀胶机自动旋涂破冰者。

突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者 - 天天要闻

图1 国产自动旋涂匀胶破冰者-560SY型匀胶机

突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者 - 天天要闻

图2 560SY型匀胶机三维图

突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者 - 天天要闻

图3 团队正在用仪器检测匀胶效果

突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者 - 天天要闻

图4 团队负责人马益轩加工匀胶喷头

突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者 - 天天要闻

图5 团队负责人马益轩正在进行设备调试

匀胶机是科研和工业生产中用于在基片上均匀涂覆薄膜的关键设备,广泛应用于半导体、光学等领域。针对传统匀胶设备膜厚均匀性不足、热烘稳定性差、调试周期长等行业痛点,设备首创纳米匀胶喷头结构,通过试验优化旋转速度、光刻胶温度、滴胶量等参数,确保滴胶精度可控可调,膜厚均匀性比改进前提高了29%;首次搭建了动态温度传感系统,降低了温度误差,热烘效率提高了19.4%;创新双机械手多工位协同运作,优化遗传算法,实现全流程最优节拍,工作效率提高了23%。2025年3月17日,经一级科技查新咨询单位科学技术部西南信息中心查新中心查新,报告表明:国内外未见其他相同文献报道,本项目具有新颖性。设备申报了5个国家专利,6个软著,签订了81.38万元采购合同。团队通过原创性技术突破,解决了匀胶机行业痛点,为半导体光刻行业提供了高精度、高效率的国产化装备。

在项目研发过程中,同学们将理论知识与实际应用相结合,从实验室到中试,团队成员经常一连数月开启“24小时运转”模式,对温度、旋转速度、工艺时间等成百上千个参数一遍遍验证、分析、微调……直至找到最优解。就是在这样的条件下,团队一步步突破封锁、打破垄断,终于攻克了长期“卡脖子”困局,研发出560SY型全自动匀胶设备,解决了匀胶不均匀、效率低等诸多技术难题,促进芯片制造自主可控。项目锻炼了学生的实践能力,培养出了以程焕瑞为代表的山东省技术能手。团队负责人马益轩分享道:“参与这个项目让我对专业知识有了更深入的理解,也体会到了科研创新的乐趣与挑战。作为新时代的青年,能在干事创业的平台上,发挥青春智慧、创造青春价值,是我们团队的光荣使命!”

山东劳动职业技术学院近年来一直重视学生创新创业能力的培养,鼓励师生参与科研项目,为项目提供场地、设备和资金支持,推动产教融合与科技成果转化。此次匀胶机升级改造的成功,是学校创新创业教育的又一成果,也为光刻领域的技术发展注入了“中国芯”。未来,该团队计划进一步聚焦匀胶机的前言技术,加强品牌宣传和推广,为国家创造更多的社会价值。

(来源:山东劳动职业技术学院)

科学分类资讯推荐

明日,我国北部有望看到红绿复合极光! - 天天要闻

明日,我国北部有望看到红绿复合极光!

6月1日,据中国气象局国家空间天气监测预警中心信息发布平台消息,北京时间5月31日07时45分左右,太阳活动区14100开始爆发耀斑,软X射线流量快速上升,并在08时05分达到峰值M8.1级中等耀斑强度。中国气象局国家空间天气监测预警中心预
未来三天,可能发生地磁暴!我国北部有机会见到明显极光 - 天天要闻

未来三天,可能发生地磁暴!我国北部有机会见到明显极光

6月1日,据中国气象局国家空间天气监测预警中心信息发布平台消息,北京时间5月31日7时45分左右,太阳活动区14100开始爆发耀斑,软X射线流量快速上升,并在8时05分达到峰值M8.1级中等耀斑强度。中国气象局国家空间天气监测预警中心预判,未来三天,可能发生地磁暴。6月2日左右,我国北部有机会出现较为明显的极光,部分地区...
我国首个!在青海发射成功 - 天天要闻

我国首个!在青海发射成功

我国首个由中学生研制的10公里级气象探空火箭发射成功“飞燕一号”是我国首个由中学生研制的10公里级气象探空火箭。27日下午15时09分15秒,随着火箭发射现场总指挥倒计时结束,“飞燕一号”在青海省海西蒙古族藏族自治州茫崖市冷湖实验室腾空而起。1分钟后,遥测数据显示,火箭最高飞行高度海拔达10555米,地面接收站成功收...
成都动物园 这两只黑猩猩萌宝陪你过“六一”|图集 - 天天要闻

成都动物园 这两只黑猩猩萌宝陪你过“六一”|图集

“六一”儿童节,成都动物园也有两只黑猩猩宝宝一起过节。今年4月,成都动物园迎来了一对小黑猩猩,它们是来自山西太原动物园的兄妹“晋川”和“太都”。这两只黑猩猩年龄不到3岁,雄性取名晋川(寓意山西和四川....
今明可能有大地磁暴!或出现红绿极光 - 天天要闻

今明可能有大地磁暴!或出现红绿极光

北京时间5月31日07时45分左右,太阳活动区14100开始爆发耀斑,软X射线流量快速上升,并在08时05分达到峰值M8.1级中等耀斑强度。位于太阳表面中部偏北的明亮区域就是耀斑现象 SDO卫星伴随耀斑过程的发生,还出现了日冕物质抛射(CME)活动,太阳大气层中的等离子体高速飞出,形成一个近似球面的“冲击波”,向着太阳系传播。...
热议 | 今年很罕见!又“卷”起来了? - 天天要闻

热议 | 今年很罕见!又“卷”起来了?

2025年6月1日,儿童节罕见“撞上”端午节假期(5月31日-6月2日),形成连续三天黄金档期,不少成年人在微博热搜榜单上欢呼“#端午遇六一四舍五入我儿童节放假#”,映衬着“谁还不是个宝宝”的潮流心态。#儿童节终于不用请假了##正大光明过六一#等词条也登上了微博词条。每年此时,围绕“六一”的话题,总像一场精准切割的“...
又一3D打印技术突破:多波长DLP光固化,实现可溶解支撑 - 天天要闻

又一3D打印技术突破:多波长DLP光固化,实现可溶解支撑

2025年5月31日,南极熊获悉,来自德克萨斯大学奥斯汀分校的研究人员开发了一种用于多波长数字光处理 (DLP) 3D 打印的新型树脂系统,能够使用可溶解支撑快速制造独立式和非组装式结构。多色 DLP系统结合了紫外光和可见光响应化学反应,可生产出具有不同溶解度特征的材料,从而显著简化了后处理流程。相关研究以题为“Multic...
今早读 | 多地网友看到不明飞行物,天文博主回应 - 天天要闻

今早读 | 多地网友看到不明飞行物,天文博主回应

■ 今日天气多云转阴微风,29到21℃■ 限行尾号不限行地铁6号线南翠屏站变身“童趣王国”为迎接第75个“六一”国际儿童节,天津轨道交通集团对地铁6号线南翠屏站进行全面升级改造,在延续“职业体验”“礼物互换”“宝贝信箱”等经典儿童友好服务的基础上,精心打造了“童趣”主题车站。该主题车站将于6月1日正式与公众见面...