突破“卡脖子”技术!鲁劳职学子成为匀胶机自动旋涂破冰者

2025年05月08日18:33:07 科学 1520

近日,山东劳动职业技术学院传来喜讯,该校匀速先锋创新团队马益轩、张欣铭等人成功研制出560SY型全自动匀胶设备。

据了解,该设备在谢立秋、任勇、孙大铭等专业教师的指导下,历经5年多的时间,查阅大量文献资料,深入研究匀胶机的工作原理和技术瓶颈,经过反复测试和优化,独创“双手双腔四仓四加热”联动解决方案,提高了生产效率,实现了对涂覆过程的精确控制,突破了光刻领域“卡脖子”技术瓶颈,为相关科研领域带来新的发展动力,成为国产匀胶机自动旋涂破冰者。

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图1 国产自动旋涂匀胶破冰者-560SY型匀胶机

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图2 560SY型匀胶机三维图

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图3 团队正在用仪器检测匀胶效果

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图4 团队负责人马益轩加工匀胶喷头

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图5 团队负责人马益轩正在进行设备调试

匀胶机是科研和工业生产中用于在基片上均匀涂覆薄膜的关键设备,广泛应用于半导体、光学等领域。针对传统匀胶设备膜厚均匀性不足、热烘稳定性差、调试周期长等行业痛点,设备首创纳米匀胶喷头结构,通过试验优化旋转速度、光刻胶温度、滴胶量等参数,确保滴胶精度可控可调,膜厚均匀性比改进前提高了29%;首次搭建了动态温度传感系统,降低了温度误差,热烘效率提高了19.4%;创新双机械手多工位协同运作,优化遗传算法,实现全流程最优节拍,工作效率提高了23%。2025年3月17日,经一级科技查新咨询单位科学技术部西南信息中心查新中心查新,报告表明:国内外未见其他相同文献报道,本项目具有新颖性。设备申报了5个国家专利,6个软著,签订了81.38万元采购合同。团队通过原创性技术突破,解决了匀胶机行业痛点,为半导体光刻行业提供了高精度、高效率的国产化装备。

在项目研发过程中,同学们将理论知识与实际应用相结合,从实验室到中试,团队成员经常一连数月开启“24小时运转”模式,对温度、旋转速度、工艺时间等成百上千个参数一遍遍验证、分析、微调……直至找到最优解。就是在这样的条件下,团队一步步突破封锁、打破垄断,终于攻克了长期“卡脖子”困局,研发出560SY型全自动匀胶设备,解决了匀胶不均匀、效率低等诸多技术难题,促进芯片制造自主可控。项目锻炼了学生的实践能力,培养出了以程焕瑞为代表的山东省技术能手。团队负责人马益轩分享道:“参与这个项目让我对专业知识有了更深入的理解,也体会到了科研创新的乐趣与挑战。作为新时代的青年,能在干事创业的平台上,发挥青春智慧、创造青春价值,是我们团队的光荣使命!”

山东劳动职业技术学院近年来一直重视学生创新创业能力的培养,鼓励师生参与科研项目,为项目提供场地、设备和资金支持,推动产教融合与科技成果转化。此次匀胶机升级改造的成功,是学校创新创业教育的又一成果,也为光刻领域的技术发展注入了“中国芯”。未来,该团队计划进一步聚焦匀胶机的前言技术,加强品牌宣传和推广,为国家创造更多的社会价值。

(来源:山东劳动职业技术学院)

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