一线晶圆代工厂齐导入EUV，家登光罩盒出货可望增3倍

芯科技消息（文／罗伊），全球半导体制程技术持续向前推展，全球一线晶圆代工厂大举导入极紫外光（EUV）制程，若据EUV设备供应大厂艾司摩尔（ASML）推估的EUV未来3年发展蓝图，半导体设备厂家登明年光罩传载系列产品出货量可望达今年3倍，后市可期。

台积电采用EUV的有今年量产的7+纳米制程、明年量产的5纳米，据了解，三星也已量产采用EUV的7纳米，而存储器厂明、后年也有望导入EUV设备，至于英特尔美国厂区也有7纳米EUV试产线，在在显示EUV相关材料与设备需求进入高速成长期。

业内人士表示，家登EUV光罩传送盒今年上半年出货告捷，目前接单满手，今年保守估计可望出货2000颗，明年受惠5纳米需要的光罩层数大幅提升，光罩盒出货量可望达今年3倍。

家登的EUV光罩传送盒18日起在国际半导体展（SEMICON Taiwan 2019）中成为一大焦点，因采用高规格防微污染技术以及严谨制程品质控管，可帮助客户提升7纳米制程良率，今年来运营已开始受惠半导体先进制程技术发展。

另外，家登今年也在展场与迅得机械自动化机台合作，完整呈现自家智能载具功能，家登指出，系列产品将成为未来半导体高端制程不可或缺的一份子，对公司后市运营相当有信心。

家登自结前8月营收14.6亿元新台币，年增50.67%，业内人士预期，今年业绩表现有机会刷新历史新高纪录。

图片来源：台积电

（校对/holly）

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