在台積電、三星、英特爾的助力下，ASML成功的研發出了EUV光刻機，將晶片製程推進到了7nm、5nm、甚至3nm，當時台積電、三星、英特爾雖互為競爭對手，但它們卻做了同一件事，那就是投資ASML。