中國攻克光刻機光源,技術有別於阿斯麥

2025年05月06日20:40:24 科學 1675

「中國突破了自主生產先進晶元的障礙!」,最近,《南華早報》發布的一篇報道,公布了一個振奮人心的消息,中國在西方拚命「卡脖子」的光刻機領域,取得了一項重要的研究成果。

據悉,中國科學院上海光學精密機械研究所的研究員林楠,日前帶領著一支研究團隊,成功建立了一個euv光源實驗平台,而且所取得的運行參數,已經達到了國際前列。

而帶領團隊取得這一研究成果的林楠,曾在荷蘭光刻機巨頭阿斯麥公司負責光源技術。

2021年,也就是美國逼迫盟友,在晶元領域限制對華出口之時,他毅然選擇回國,幫助中國尋求破局之法。

中國攻克光刻機光源,技術有別於阿斯麥 - 天天要聞光刻機是製造高精度晶元的關鍵

更重要的是,這次林楠團隊的成果,讓最喜歡污衊中國「偷竊技術」的西方,也無話可說了。

因為,阿斯麥公司採用的是二氧化碳激光碟機動技術,而林楠團隊卻是研究固體激光碟機動技術,成功開發出lpp-euv光源。

當然,中國跟西方的差距依舊存在,當前商用二氧化碳激光碟機動的euv光源轉換效率,大約在5.5%左右,這次林楠團隊所研發的固體激光碟機動技術,光源轉換效率大約在3.42%,大概落後西方四五年。

不過,還記得以前,西方曾諷刺中國大陸的晶元技術,起碼落後西方50年,但隨著這些年的發展,這個差距在他們口中,慢慢縮減到了20 年、15年,乃至現在開闢新的賽道,再次縮短了與西方的差距。

中國攻克光刻機光源,技術有別於阿斯麥 - 天天要聞全球能製造euv光刻機的只有阿斯麥公司

而且,這遠不是林楠團隊的極限,根據研究過程中印證出的結果,他們認為這次所建的光源實驗平台,理論上的最大轉換效率可能會接近6%,達到當前阿斯麥公司的商用水準。

面對中國自主研發的成果,阿斯麥公司也倍感壓力,他們自然知道林楠的研究水平,所以早早預料到了中國在製造euv光源方面,很可能會迎來成果。

然而,他們的嘴還是很硬的,堅持認為中國哪怕製造出了euv光源,也需要很多年才能製造出先進光刻機。

原因也很簡單,euv光刻機作為世界頂級的光刻機設備,想要自主研發製造,不只是要攻克光源技術,比如美國也研究出來了光源技術,但真正能製造出euv光刻機,放眼全世界也只有阿斯麥公司。

中國攻克光刻機光源,技術有別於阿斯麥 - 天天要聞美國圍堵中國發展

這也是為什麼,美國手段頻出,也要施壓荷蘭政府限制阿斯麥公司,不許其對華出售先進光刻機。因為西方相信只要阿斯麥不賣,就能一直在晶元領域,卡住中國的脖子。

只不過,過去的歷史一次次證明,美西方越是打壓封鎖,中國自主創新的腳步就會越快;美西方越是拉攏盟友,中國的朋友圈就會越擴越大。

從航天到民生,從太陽能到晶元,如今,中國在科研領域取得的一道道成果,沒有一樣不是靠鬥爭拼出來的。

相信在14億人的共同努力下,沒有困難是打不倒的,沒有技術是突破不了的。5年、10年,技術總會迎來突破的那一刻,中國人的奮鬥之路,絕不會因為西方的脅迫而動搖。

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