一線晶圓代工廠齊導入EUV，家登光罩盒出貨可望增3倍

芯科技消息（文／羅伊），全球半導體製程技術持續向前推展，全球一線晶圓代工廠大舉導入極紫外光（EUV）製程，若據EUV設備供應大廠艾司摩爾（ASML）推估的EUV未來3年發展藍圖，半導體設備廠家登明年光罩傳載系列產品出貨量可望達今年3倍，後市可期。

台積電採用EUV的有今年量產的7+納米製程、明年量產的5納米，據了解，三星也已量產採用EUV的7納米，而存儲器廠明、後年也有望導入EUV設備，至於英特爾美國廠區也有7納米EUV試產線，在在顯示EUV相關材料與設備需求進入高速成長期。

業內人士表示，家登EUV光罩傳送盒今年上半年出貨告捷，目前接單滿手，今年保守估計可望出貨2000顆，明年受惠5納米需要的光罩層數大幅提升，光罩盒出貨量可望達今年3倍。

家登的EUV光罩傳送盒18日起在國際半導體展（SEMICON Taiwan 2019）中成為一大焦點，因採用高規格防微污染技術以及嚴謹製程品質控管，可幫助客戶提升7納米製程良率，今年來運營已開始受惠半導體先進位程技術發展。

另外，家登今年也在展場與迅得機械自動化機台合作，完整呈現自家智能載具功能，家登指出，系列產品將成為未來半導體高端製程不可或缺的一份子，對公司後市運營相當有信心。

家登自結前8月營收14.6億元新台幣，年增50.67%，業內人士預期，今年業績表現有機會刷新歷史新高紀錄。

圖片來源：台積電

（校對/holly）

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