ASML麻煩了?英國電子束光刻機,繞過EUV,製造5nm晶元

2025年05月17日18:40:19 財經 4343

眾所周知,目前主要的晶元製造方案,均採用的是光刻技術,而光刻技術最重要的就是光刻機。

光刻機領域,ASML一家獨佔了80%以上的市場份額,特別是最高端的EUV光刻機,全球僅ASML一家能夠製造。

而EUV又用於7nm以下的晶元製造,所以說ASML卡住了全球所有先進晶元製造企業的脖子。

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所以一直以來,全球眾多的企業,都在想方設法,繞過ASML的封鎖,特別是繞過EUV光刻機技術,掌握另外的晶元製造技術,那麼全球的晶元設備格局都可能被改寫。

事實上,之前也有好幾套技術方案,比如日本研究的NIL納米壓印技術,佳能就有推出相關的設備,據說也能用於5nm晶元的製造。

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還有美國之前搞了EBL電子束技術,據稱也能夠用於5nm及以下晶元的製造。

還有歐洲搞什麼DSA自生長技術,還有俄羅斯提出什麼X射線方案等,但其真正的可以拿出來公布的進度並不多。除了佳能的NIL方案,據說已經用於實際生產之外,其它的只是傳聞。

但是近日,傳聞變成了現實,英國南安普敦大學宣布,成功開設了首個解析度達 5 納米以下的尖端電子束光刻 (EBL) 中心。

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這種產品,據稱可以製造下一代半導體晶元,並且是不需要EUV光刻機的晶元製造技術,據稱這也是全球第二個,歐洲首個此類電子束光刻中心。

不過,目前這一代產品,也並不是沒有缺點,那就是目前它還只能用於200mm的晶圓,也就是8寸的,要支持300mm也就是12寸的,據稱要等到下一代技術才行。

但不可否認的是,一旦這種電子束光刻機大突破,解決了產能、解析度等等問題之後,ASML的麻煩就來了,到時候ASML就無法一家獨大了,那當前的這種局面,肯定會產生巨大的洗牌。

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當然,對於我們而言,表現上來看似乎也是利好,畢竟這麼多的產品推出,我們有了更多的選擇,但關鍵是,這些產品和技術都不是中國的,所以就算對方有,也未必會賣給我們,所以我們還是努力加油吧,只有自己有,才能避免被卡脖子。

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