光刻機被譽為工業皇冠上的「明珠」,是晶元製造不可或缺的設備,其重要性不言而喻,在全球光刻機市場,ASML可以說是「霸主」的存在,也是全球唯一一家能夠生產EUV光刻機的廠商。
然而,由於眾所周知的原因,ASML一直被限制向大陸晶圓廠出口EUV設備。即便是中企早在四年前就交付定金與ASML達成了一台EUV的採購協議,可在老美的干預下,該設備至今也未能交付。
「一代晶元、一代裝備」是半導體行業的共識,在台積電終止代工服務後,華為海思自研的高端麒麟晶元之所以會成為「絕唱」,就是因為國內市場缺少類似EUV光刻機這樣的高端製造材料和設備,無法滿足製程要求。
慶幸的是,雖然中企無法買到應用於高端晶元製程的EUV光刻機,可ASML研發的DUV設備卻能保質保量的正常供應。據公開資料顯示,僅今年第一季度,ASML就像大陸市場銷售了23台DUV光刻機。
對於正處爬坡破冰階段的國內晶元市場而言,其實對EUV光刻機的需求並不大,只有智能手機Soc晶元等部分行業能用到。反觀應用於成熟製程工藝的DUV設備,卻是一直被廣泛使用。
正如龍芯工程師胡偉武所說,不要美國做5nm,我們就也學著去做5nm,28nm/14nm晶元足以滿足90.9%以上的應用,相比集中大部分精力去攻關高端工藝,我們更應該做的提升國產化率,優化系統環境。
事實也的確如此,例如航天航空、5G基站、計算機、車載系統等諸多關鍵領域,所用到的都是28nm成熟製程。而且,國產晶元也只有先站穩了中低端市場,才能下一步去衝擊高端晶元市場。
換句話說,EUV光刻機的斷供對我們的影響暫時是非常有限的。或許是意識到了這個問題,從去年至今,老美又將注意力放在了DUV光刻機設備上,並遊說ASML,希望它能夠收緊該國際主流需求設備的出貨範圍。
但讓老美沒料到的是,ASML卻作出了「反向」決定。在短短一年多時間裡,中企已累計向ASML採購了78台光刻機,這也使得中國市場超越美國地區,成了ASML的全球第三大業務市場。
另外,ASML還在持續加大對中國市場的投資布局。據公開資料顯示,截止9月底,ASML在中國市場設立的辦事處已達到了15個,還有3個開發中心,一個維修中心和一個培訓中心,團隊規模也超過了1500人!
儘管需要面對來自美國的壓力,但從ASML舉動也不難看出,它顯然認為穩住中國市場更為關鍵。
原因很清晰,在全球晶元出貨下滑的大環境下,蘋果、高通等美芯都接連傳出了砍單的消息,這導致光刻機的出貨也受到了影響,強如台積電都被迫關閉了部分EUV光刻機,以應對產能過剩的危機。
面對這種情況,ASML似乎是開始撐不住了。然而,相比其他地區,中國晶元消費市場規模卻仍維持在年均3500億美元至4000億美元之間,在自主造芯潮流的推動下,國內晶圓廠對光刻機的需求量更是穩步上漲。
在絕對的利益面臨,ASML又怎麼可能會無動於衷。更關鍵的是,國產光刻機正在加速突破,如果ASML不加快布局,一旦等到國產光刻機落地應用,它所要面臨的可能就是被排除在外的結局。
不過,我們也不能掉以輕心,過去早已多次證明西方企業是靠不住的,即便暫時DUV等主流光刻設備能夠自由出貨,我們也不能放鬆自研腳步,只有未雨綢繆、居安思危,才能從容應對各種潛在的危機。
對此,倪光南院士也早已發出警告:核心技術是買不來、換不來、求不來的,國產晶元的崛起之路沒有捷徑,我們必須放棄幻想,身體力行的全面完成國產化替代!