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台积电拿走了ASML的一半的EUV光刻机,量产了全球超过63%的EUV晶圆晶片,ASML将会在2023年交付High NA EUV光刻机,台积电与ASML表示,先进制程与成熟工艺的晶片都紧缺光刻机 -
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