近日全国人大代表、徐州博康董事长傅志伟近日在接受《南华早报》采访时，透露了一个让整个半导体圈为之一振的消息：公司已经实现了从单体、树脂、光酸到最终光刻胶产品的全产业链自主化，KrF、ArF这些中高端产品已经通过了头部晶圆厂的验证，正在逐步放量生产。
这应该是国产光刻胶产业首次官宣，国产ArF即将量产，取得关键性突破吧。我们知道全球光刻胶市场，尤其是高端光刻胶长期被日本和美国企业所主导，合计市场占有率高达95%。尤其是在高端市场里，日本的JSR、信越化学、TOK（东京应化）以及美国的杜邦，简直就是神一般的存在，在最先进的EUV（极紫外）光刻胶领域，更是处于“垄断地位”。
目前中国光刻胶的自给率是很低的。根据中国电子材料行业协会的数据，我们在门槛最低的G/I线光刻胶上，国产化率勉强能达到20%-25%；到了KrF级别，国产化率直接跳水到仅剩3%；而到了更高端的ArF级别，国产化率甚至不足1%。
但在国家政策，尤其是国家集成电路产业投资基金三期规模达1600亿元，其中约18%的资金投向光刻胶等半导体材料领域。上海等地还出台补贴政策，对晶圆厂采购国产光刻胶给予10%的补贴。
这些都强有力的推动了国产光刻胶的稳步突围。如上文提到的徐州博康从最源头的单体（原材料），到树脂（成膜主体），到光酸（光敏核心），再到最终的光刻胶成品，全部自己搞定 。这不仅意味着成本可控，更意味着供应链的安全。
当然，国产光刻胶产业不是徐州博康一个公司在战斗。
- 鼎龙股份在武汉和潜江布局，其潜江一期30吨KrF/ArF高端光刻胶产线已具备量产能力，二期年产300吨的产线也即将就位。
- 上海新阳建成了从I线到ArF浸没式的完整研发平台，已经开始批量销售 。
- 彤程新材旗下的北京科华，多款KrF光刻胶已经在主流晶圆厂和存储厂批量供货。
- 南大光电更实在，直接在财报里告诉大家：2024年我有三款ArF光刻胶，已经实现了千万人民币的收入。
另外，根据行业数据，截止去年底国内企业已攻克23项ArF光刻胶关键技术，产品良率稳定在92%以上，KrF光刻胶自给率正向50%冲刺。
当然对于国产光刻胶而言，政策的推动只是一方面，更重要的是来自市场需求的刺激，晶圆厂扩产直接拉动了光刻胶的海量需求。业内测算，每生产1万片12英寸晶圆就需要消耗约5吨光刻胶。2025年国内12英寸晶圆产能预计达每月120万片，这意味着光刻胶需求量将突破6000吨。这意味着，2026年，国产光刻胶将迎来达爆发。
因此，对于国产芯片产业来说，7nm（5nm、3nm）以下的先进制程的突破确实非一朝一夕能够完成的；但在成熟制程，如28nm、14nm这条主流赛道上，国产芯片已经占据全球40%的市场份额。
这为国产半导体产业链带来了巨大的市场机会和成长空间，光刻胶也不例外，在接下来的2-3年不仅在既有的ArF产线实现规模化量产，而且在EUV光刻胶也将迎来事实上的技术突破！
