复旦大学研发出新技术:相同工艺节点下,可实现器件集成密度翻倍

2022年12月11日22:38:13 科学 1895

12月11日消息,据复旦大学微电子学院官方消息,该学院教授周鹏、研究员包文中及信息科学与工程学院研究员万景团队绕过 EUV 工艺,研发出性能优异的异质 CFET 技术。相关成果已经发表于《自然 — 电子学》杂志上。

简单来说,研究人员创新地设计出了一种晶圆级硅基二维互补叠层晶体管,可以在相同的工艺节点下,实现器件集成密度翻倍,从而获得卓越的电学性能。

复旦大学研发出新技术:相同工艺节点下,可实现器件集成密度翻倍 - 天天要闻

▲ 硅基二维叠层晶体管的概念、晶圆级制造与器件结构 (图源:复旦大学官网)

官方表示,极紫外光刻设备复杂,在现有技术节点下能够大幅提升集成密度的三维叠层互补晶体管 (CFET) 技术价值凸显,但全硅基 CFET 的工艺复杂度高且性能在复杂工艺环境下退化严重。

据介绍,这种硅基二维互补叠层晶体管利用成熟的后端工艺将新型二维材料集成在硅基芯片上,并利用两者高度匹配的物理特性实现 4 英寸大规模三维异质集成互补场效应晶体管。

这种技术可以实现了晶圆级异质 CFET 技术。相比于硅材料,二维原子晶体的单原子层厚度使其在小尺寸器件中具有优越的短沟道控制能力。该技术将进一步提升芯片的集成密度,满足高算力处理器,高密度存储器及人工智能等应用的发展需求。

编辑:芯智讯-林子 来源:复旦大学微电子学院


科学分类资讯推荐

时隔百余年 海南发现壁虎属新物种 - 天天要闻

时隔百余年 海南发现壁虎属新物种

新华社海口5月15日电 经反复核实论证,海南省林业局15日确认,时隔百余年,海南再次发现一个壁虎属新物种——自然保护地壁虎。这也是首个由我国人员在海南本土发现并命名的壁虎属物种。相关研究成果在国际动物分类学期刊《动物分类杂志》上发表。2024年12月8日,在海南热带雨林国家公园拍摄的自然保护地壁虎。(周润邦 摄)...
创新展上看创新,GEA加速未来食品行业高效增长 - 天天要闻

创新展上看创新,GEA加速未来食品行业高效增长

AI时代,食品饮料行业正快速变革与创新发展。消费需求的日益多元化和可持续发展理念,正驱动行业探索技术创新与转型。从植物基到生物技术、智能制造,食品饮料企业正在创新与规模化生产、提升产品品质与生产效率的思考中前进。FBIF食品创新展近日在上海
沙特正成为另一个AI芯片消耗大户 - 天天要闻

沙特正成为另一个AI芯片消耗大户

看上中东,英伟达向沙特出售1.8万颗顶级AI芯片文|《财经》研究员 周源编辑|谢丽容美东时间5月13日周二,在沙特阿拉伯首都利雅得举行的沙特-美国投资论坛上,英伟达(NVIDIA)首席执行官黄仁勋宣布,将向沙特人工智能(下称AI)初创公司H
日本电动垂直起降飞行器,将在台湾省投入医疗使用! - 天天要闻

日本电动垂直起降飞行器,将在台湾省投入医疗使用!

日本电动垂直起降飞行器(eVTOL)“天空驱动”(Skydrive)将在台湾省作为应急医疗直升机投入使用!日本研发的电动垂直起降飞行器 “天空驱动”(Skydrive)已被指定为台湾省的应急医疗直升机,预计将用于支援陆上交通受限的离岛地区紧急医疗服务。尽管 eVTOL 尚未进入全面商业运营阶段,但近年来全球多国已加速电动垂直起...
图解巷道高冒区、复杂空巷充填及上隅角密闭 - 天天要闻

图解巷道高冒区、复杂空巷充填及上隅角密闭

我是通风安全,点击上方“关注”,每天为你分享【一通三防】与【安全管理】干货。一、充填设备及工艺材料施工采用的设备主要有气动隔膜泵、混合器。材料充填工艺如下:按照水灰比(1.
五十万米高空捕捉地表细节 - 天天要闻

五十万米高空捕捉地表细节

长光卫星智慧农业农村综合指挥平台界面。 长光卫星供图李岩在加工反射镜。 本报记者 刘以晴摄“吉林一号”宽幅卫星总装现场。 长光卫星供图“吉林一号”是我国最大的商业遥感卫星星座和全球最大的亚米级商业遥感卫星星座。
我国首款航天大模型 让卫星管理更聪明 - 天天要闻

我国首款航天大模型 让卫星管理更聪明

随着天上的卫星组网越来越多,这些卫星如何更加智能、高效地管理成为行业面临的一个问题。我国首个航天大模型,正在助力卫星管理更聪明。航天大模型“华山”,首次将大语言模型应用在航天领域的产品上,运用AI帮助用户完成航天器智能操控、轨道计算与分析、指令代码生成等航天器在轨管理工作。通过数据学习,它可以快速且智...
大熊猫“荷风”“兰韵”正式亮相奥地利美泉宫动物园 - 天天要闻

大熊猫“荷风”“兰韵”正式亮相奥地利美泉宫动物园

当地时间5月14日,来自中国大熊猫保护研究中心的大熊猫“荷风”和“兰韵”正式亮相奥地利维也纳美泉宫动物园。当天,美泉宫动物园为“荷风”和“兰韵”举行了盛大的欢迎仪式。奥地利总统亚历山大·范德贝伦发表致辞。现场观众热情高涨,众多儿童欢呼雀跃,