光刻机相信大家也都是耳熟能详了,而对于荷兰的ASML公司,想必大家也都不陌生,作为唯一有能力制造尖端EUV光刻机的企业,此前也被过度的“神话”,其实他们并没有那么的厉害,实际上也只是一家“组装”工厂罢了,超过90%以上的技术,来源于世界各地。
在ASML崛起之前,日本尼康,佳能两大巨头是全球光刻机领域的领头羊,彼时的ASML在他们面前根本微不足道。即便到现在,尼康,佳能也依然维持光刻机业务,在中低端光刻机市场上,占据核心供应商地位。换句话说,全球屈指可数的光刻机厂商,日本就有两个。
还有日立先端科技负责提供半导体领域的过程,计量设备,还能负责等离子蚀刻系统的打造。另外迪恩士、爱德万测试、东京应化、富士电子材料等日本巨头,都在全球半导体行业独当一面。
这还不算当初的东芝,要不是美国出手,恐怕东芝早已经成长为世界级半导体巨头。可就算东芝受挫,也无法改变日本半导体实力不俗的事实。
在制造EUV光刻机过程中,所使用到的都是全球顶尖的科技,因此ASML同样也害怕技术供应商的断供,其中含美的技术比例是最大的,因此在进出口上才受到了相关限制,除此之外ASML公司还需要高度依赖于日企,一旦他们断供的话,那么EUV光刻也就没有了实际的意义。
一是,检测设备。
在EUV相关设备——EUV光罩(掩膜板)检测设备上,日本Lasertec Corp.的市场占比达100%,是这一赛道中唯一的玩家。
检测设备能够检测原始电路板的光掩膜内部是否有缺陷、芯片设计模板上的微观磨损,这对于保证芯片的生产十分重要。毕竟,掩膜板上的单个缺陷损毁的将是上千个器件。
但是,EUV光罩检测设备的研发并不是那么容易,要知道EUV的波长仅为13.5nm。
但lasertec成功克服了这一难题,为业界实现了一个又一个里程碑式的突破。最终,其树立了自己无法被动摇的地位。
二是,EUV涂覆显影设备。
EUV涂覆显影设备负责光刻机的输入与输出,能在硅片上将特殊的化学液体作为半导体材料进行显影。
而在这一关键领域,日本东京电子的垄断程度达到了100%。
东京电子是全球半导体设备巨头,其涵盖范围十分广泛,在半导体制造流程中几乎所有工序都有东京电子设备的身影;且在诸多领域都做到了世界前列。
作为日本首家半导体制造设备厂商,东京电子为推动日本半导体设备国产化做出了关键贡献。随着日本半导体产业的兴起,东京电子也逐渐发展壮大,用18年时间走到了世界的最前列。
尤其是在EUV涂覆显影设备上更是功勋卓著,牢牢占据着垄断地位,进而关系着全球芯片制造业。
在EVU光罩检测设备、EUV涂覆显影设备两大领域,日本企业一旦断供,ASML再也生产不出EUV光刻机。由此可见,日本企业的重要性。
三是,光刻胶。
在芯片制造的关键耗材——光刻胶领域,日本企业同样占据垄断地位。在EUV光刻胶领域,日本企业的市场占有率达90%之高,几乎没有敌手。
在整个半导体用光刻胶市场,日本JSR、东京应化、富士电子材料、日本信越这四大企业,占据了72%的市场。由此不难看出,日本企业在这一领域的关键地位。
在光刻机领域,日本企业虽然失去了此前的优势地位,被ASML所压制。但是,在光刻胶核心部件、半导体材料、半导体设备等诸多领域,日本企业仍是处在难以撼动的地位,在全球半导体产业链中占据了关键的一环。
所以才说,日本企业一旦断供,就连ASML也难以维持生产。