和ASML一起造EUV光刻机的蔡司，有多厉害？

众所周知，全球只有ASML和尼康两家能够制造浸润式光刻机。而一家只有ASML一家能够制造EUV光刻机。

为何造先进光刻机的厂商这么少，原因有很多，但非常有一个非常重要的原因，那就是先进光刻机的物镜系统太难了，全球只有德国蔡司拥有这个技术。

比如浸润式光刻机的物镜系统，全球就只有蔡司能够提供，尼康是因为得到了蔡司的帮助，才能够生产出浸润式光刻机，而佳能、上海微电子没有得到蔡司的元件，所以生产不出来。

至于EUV光刻机中的物镜系统，全球也只有蔡司一家能够提供，但蔡司的这个系统，不能卖给除ASML之外的任何一家厂商，所以全球也就只有ASML一家能够生产出EUV光刻机。

那么蔡司的物镜系统，究竟有多牛？蔡司是光学巨头，小到眼镜镜片，大到医学显微系统，蔡司都有涉猎，但光刻机这一块，有一家专门的半导体公司负责，叫做Zeiss SMT。

在EUV光刻机中，有两套光学系统，一部分用于照明系统，一部分为投影光学系统。

照明系统是干什么的？是极紫光线通过分面反射镜，然后在光罩上提供合适的照明度，别以为就是几盏灯的事情，这个物件高达1.5吨用，一共由1.5万多个元件组成。

而投影光学系统更复杂，用到了六个超精密的反射镜，可以实现nm级别的成像，这套系统重量超过2吨，一共由2万多个元件组成。

由于为要实现nm的影像，所以对反射镜的要求非常高，不能有丝毫的误差。

在EUV光刻机，这套投影光学系统中，用到的镜面叫做“布拉格反射器”，也被称之为“地球上最平整”的镜面。

究竟有多平？这个反射器的直径只有30厘米左右，但如果把它整体放大到整个云南省那么大，最厚的介质层也只有1毫米那么厚。

ASML与蔡司不仅仅是合作关系，2016年的时候，ASML出资10亿欧元，收购了蔡司半导体公司Zeiss SMT24.9%的股份，并承诺后续会持续投资，支持蔡司在半导体方面的研发，双方是绑定在一起的。

所以这也是为什么蔡司的物镜系统，并不对外销售的原因，要是蔡司的物镜系统能够大规模对外销售，估计全球也就不只ASML一家能够生产EUV光刻机了。