EUV光刻機3年內落地,光刻機4大部份:光源、聚光、物鏡和雙工件台都齊了,對標ASML,何時落地?唯來製造?

2023年06月21日02:42:17 科技 39857
EUV光刻機3年內落地,光刻機4大部份:光源、聚光、物鏡和雙工件台都齊了,對標ASML,何時落地?唯來製造? - 天天要聞 EUV光刻機3年內落地,光刻機4大部份:光源、聚光、物鏡和雙工件台都齊了,對標ASML,何時落地?唯來製造? - 天天要聞
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