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半導體化學氣相沉積 l 化學氣相沉積技術 l 半導體薄膜 l 半導體器件製造 l 薄膜生長 l 氣相沉積工藝 l 沉積速率基板材料表面處理 l 氣體流量控制 l 反應溫度 l 反應壓力薄膜質量控制
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