復旦大學研發出新技術:相同工藝節點下,可實現器件集成密度翻倍

2022年12月11日22:38:13 科學 1895

12月11日消息,據復旦大學微電子學院官方消息,該學院教授周鵬、研究員包文中及信息科學與工程學院研究員萬景團隊繞過 EUV 工藝,研發出性能優異的異質 CFET 技術。相關成果已經發表於《自然 — 電子學》雜誌上。

簡單來說,研究人員創新地設計出了一種晶圓級硅基二維互補疊層晶體管,可以在相同的工藝節點下,實現器件集成密度翻倍,從而獲得卓越的電學性能。

復旦大學研發出新技術:相同工藝節點下,可實現器件集成密度翻倍 - 天天要聞

▲ 硅基二維疊層晶體管的概念、晶圓級製造與器件結構 (圖源:復旦大學官網)

官方表示,極紫外光刻設備複雜,在現有技術節點下能夠大幅提升集成密度的三維疊層互補晶體管 (CFET) 技術價值凸顯,但全硅基 CFET 的工藝複雜度高且性能在複雜工藝環境下退化嚴重。

據介紹,這種硅基二維互補疊層晶體管利用成熟的後端工藝將新型二維材料集成在硅基芯片上,並利用兩者高度匹配的物理特性實現 4 英寸大規模三維異質集成互補場效應晶體管。

這種技術可以實現了晶圓級異質 CFET 技術。相比於硅材料,二維原子晶體的單原子層厚度使其在小尺寸器件中具有優越的短溝道控制能力。該技術將進一步提升芯片的集成密度,滿足高算力處理器,高密度存儲器及人工智能等應用的發展需求。

編輯:芯智訊-林子 來源:復旦大學微電子學院


科學分類資訊推薦

時隔百餘年 海南發現壁虎屬新物種 - 天天要聞

時隔百餘年 海南發現壁虎屬新物種

新華社海口5月15日電 經反覆核實論證,海南省林業局15日確認,時隔百餘年,海南再次發現一個壁虎屬新物種——自然保護地壁虎。這也是首個由我國人員在海南本土發現並命名的壁虎屬物種。相關研究成果在國際動物分類學期刊《動物分類雜誌》上發表。2024年12月8日,在海南熱帶雨林國家公園拍攝的自然保護地壁虎。(周潤邦 攝)...
創新展上看創新,GEA加速未來食品行業高效增長 - 天天要聞

創新展上看創新,GEA加速未來食品行業高效增長

AI時代,食品飲料行業正快速變革與創新發展。消費需求的日益多元化和可持續發展理念,正驅動行業探索技術創新與轉型。從植物基到生物技術、智能製造,食品飲料企業正在創新與規模化生產、提升產品品質與生產效率的思考中前進。FBIF食品創新展近日在上海
沙特正成為另一個AI芯片消耗大戶 - 天天要聞

沙特正成為另一個AI芯片消耗大戶

看上中東,英偉達向沙特出售1.8萬顆頂級AI芯片文|《財經》研究員 周源編輯|謝麗容美東時間5月13日周二,在沙特阿拉伯首都利雅得舉行的沙特-美國投資論壇上,英偉達(NVIDIA)首席執行官黃仁勛宣布,將向沙特人工智能(下稱AI)初創公司H
日本電動垂直起降飛行器,將在台灣省投入醫療使用! - 天天要聞

日本電動垂直起降飛行器,將在台灣省投入醫療使用!

日本電動垂直起降飛行器(eVTOL)「天空驅動」(Skydrive)將在台灣省作為應急醫療直升機投入使用!日本研發的電動垂直起降飛行器 「天空驅動」(Skydrive)已被指定為台灣省的應急醫療直升機,預計將用於支援陸上交通受限的離島地區緊急醫療服務。儘管 eVTOL 尚未進入全面商業運營階段,但近年來全球多國已加速電動垂直起...
圖解巷道高冒區、複雜空巷充填及上隅角密閉 - 天天要聞

圖解巷道高冒區、複雜空巷充填及上隅角密閉

我是通風安全,點擊上方「關注」,每天為你分享【一通三防】與【安全管理】乾貨。一、充填設備及工藝材料施工採用的設備主要有氣動隔膜泵、混合器。材料充填工藝如下:按照水灰比(1.
五十萬米高空捕捉地表細節 - 天天要聞

五十萬米高空捕捉地表細節

長光衛星智慧農業農村綜合指揮平台界面。 長光衛星供圖李岩在加工反射鏡。 本報記者 劉以晴攝「吉林一號」寬幅衛星總裝現場。 長光衛星供圖「吉林一號」是我國最大的商業遙感衛星星座和全球最大的亞米級商業遙感衛星星座。
我國首款航天大模型 讓衛星管理更聰明 - 天天要聞

我國首款航天大模型 讓衛星管理更聰明

隨着天上的衛星組網越來越多,這些衛星如何更加智能、高效地管理成為行業面臨的一個問題。我國首個航天大模型,正在助力衛星管理更聰明。航天大模型「華山」,首次將大語言模型應用在航天領域的產品上,運用AI幫助用戶完成航天器智能操控、軌道計算與分析、指令代碼生成等航天器在軌管理工作。通過數據學習,它可以快速且智...
大熊貓「荷風」「蘭韻」正式亮相奧地利美泉宮動物園 - 天天要聞

大熊貓「荷風」「蘭韻」正式亮相奧地利美泉宮動物園

當地時間5月14日,來自中國大熊貓保護研究中心的大熊貓「荷風」和「蘭韻」正式亮相奧地利維也納美泉宮動物園。當天,美泉宮動物園為「荷風」和「蘭韻」舉行了盛大的歡迎儀式。奧地利總統亞歷山大·范德貝倫發表致辭。現場觀眾熱情高漲,眾多兒童歡呼雀躍,