台積電供應商家登指控英特格侵權案 法院判決不成立

集微網報道（文/李映）對台積電供應商、晶圓傳送方案商家登於2021年11月控訴英特格的前開式晶圓傳送盒FOUP及極紫外光光罩盒（EUV Pod）侵犯專利、索賠新台幣1億元一案，近日我國台灣法院判決家登敗訴，指控英特格侵權案不成立。

英特格強調，技術創新是英特格長期為客戶帶來價值的核心，此裁決結果再次肯定了英特格長期保護第三方知識產權的承諾。英特格與家登的授權協議僅限於EUV技術，家登沒有任何權利使用英特格的FOUP相關技術。

英特格進一步表示，公司已在台灣半導體產業深耕超過30年，目前在台灣約有720名員工，並預計在未來數年再增加數百名員工。

據悉，前開式晶圓傳送盒FOUP是半導體製程中被用來保護、運送並儲存晶圓的一種容器，其內部可以容納25片的300mm晶圓。而EUV光罩光刻圖案精細度較高，發生掩模污染的風險也比較高，因此需要高度專業化的EUV Pod進行防護。EUV Pod作為一類具有多個關鍵元件且高度專業化的設備，其技術含量較高，當前大陸行業尚處初步發展階段，國產替代空間巨大。