光刻機相信大家也都是耳熟能詳了,而對於荷蘭的ASML公司,想必大家也都不陌生,作為唯一有能力製造尖端EUV光刻機的企業,此前也被過度的「神話」,其實他們並沒有那麼的厲害,實際上也只是一家「組裝」工廠罷了,超過90%以上的技術,來源於世界各地。
在ASML崛起之前,日本尼康,佳能兩大巨頭是全球光刻機領域的領頭羊,彼時的ASML在他們面前根本微不足道。即便到現在,尼康,佳能也依然維持光刻機業務,在中低端光刻機市場上,佔據核心供應商地位。換句話說,全球屈指可數的光刻機廠商,日本就有兩個。
還有日立先端科技負責提供半導體領域的過程,計量設備,還能負責等離子蝕刻系統的打造。另外迪恩士、愛德萬測試、東京應化、富士電子材料等日本巨頭,都在全球半導體行業獨當一面。
這還不算當初的東芝,要不是美國出手,恐怕東芝早已經成長為世界級半導體巨頭。可就算東芝受挫,也無法改變日本半導體實力不俗的事實。
在製造EUV光刻機過程中,所使用到的都是全球頂尖的科技,因此ASML同樣也害怕技術供應商的斷供,其中含美的技術比例是最大的,因此在進出口上才受到了相關限制,除此之外ASML公司還需要高度依賴於日企,一旦他們斷供的話,那麼EUV光刻也就沒有了實際的意義。
一是,檢測設備。
在EUV相關設備——EUV光罩(掩膜板)檢測設備上,日本Lasertec Corp.的市場佔比達100%,是這一賽道中唯一的玩家。
檢測設備能夠檢測原始電路板的光掩膜內部是否有缺陷、芯片設計模板上的微觀磨損,這對於保證芯片的生產十分重要。畢竟,掩膜板上的單個缺陷損毀的將是上千個器件。
但是,EUV光罩檢測設備的研發並不是那麼容易,要知道EUV的波長僅為13.5nm。
但lasertec成功克服了這一難題,為業界實現了一個又一個里程碑式的突破。最終,其樹立了自己無法被動搖的地位。
二是,EUV塗覆顯影設備。
EUV塗覆顯影設備負責光刻機的輸入與輸出,能在硅片上將特殊的化學液體作為半導體材料進行顯影。
而在這一關鍵領域,日本東京電子的壟斷程度達到了100%。
東京電子是全球半導體設備巨頭,其涵蓋範圍十分廣泛,在半導體製造流程中幾乎所有工序都有東京電子設備的身影;且在諸多領域都做到了世界前列。
作為日本首家半導體製造設備廠商,東京電子為推動日本半導體設備國產化做出了關鍵貢獻。隨着日本半導體產業的興起,東京電子也逐漸發展壯大,用18年時間走到了世界的最前列。
尤其是在EUV塗覆顯影設備上更是功勛卓著,牢牢佔據着壟斷地位,進而關係著全球芯片製造業。
在EVU光罩檢測設備、EUV塗覆顯影設備兩大領域,日本企業一旦斷供,ASML再也生產不出EUV光刻機。由此可見,日本企業的重要性。
三是,光刻膠。
在芯片製造的關鍵耗材——光刻膠領域,日本企業同樣佔據壟斷地位。在EUV光刻膠領域,日本企業的市場佔有率達90%之高,幾乎沒有敵手。
在整個半導體用光刻膠市場,日本JSR、東京應化、富士電子材料、日本信越這四大企業,佔據了72%的市場。由此不難看出,日本企業在這一領域的關鍵地位。
在光刻機領域,日本企業雖然失去了此前的優勢地位,被ASML所壓制。但是,在光刻膠核心部件、半導體材料、半導體設備等諸多領域,日本企業仍是處在難以撼動的地位,在全球半導體產業鏈中佔據了關鍵的一環。
所以才說,日本企業一旦斷供,就連ASML也難以維持生產。