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台積電拿走了ASML的一半的EUV光刻機，量產了全球超過63%的EUV晶圓晶片，ASML將會在2023年交付High NA EUV光刻機，台積電與ASML表示，先進制程與成熟工藝的晶片都緊缺光刻機
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